판매용 중고 NOVA NovaScan 3090 #293663062

NOVA NovaScan 3090
ID: 293663062
Film measurement system P/N: 390-10000-11.
NOVA NovaScan 3090은 웨이퍼 테스터 및 도량형 장비로, 직경이 최대 300mm 인 반도체 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 분석 할 수 있도록 설계되었습니다. 표준 전기적 특성과 새로운 비접촉 광학 기술 (예: 편광 된 빛 간섭 현미경) 을 결합한 고급 도구입니다. NovaScan 3090은 균일성, 균일성 자격 및 비파괴적 도량형을 위해 반도체 장치를 신속하게 테스트할 수 있습니다. 광범위한 측정 센서와 결합 된 12 축 포지셔닝 시스템을 사용하여 나노 미터 (nanometer) 수준의 정확도까지 정확하고 반복 가능한 포지셔닝을 제공합니다. 주요 단계는 다양한 테스트 기판 및 재료와 호환됩니다. NOVA NovaScan 3090에는 고급 이미징 및 편광 광 간섭 현미경으로 구동되는 광학 도량형 하위 시스템도 포함됩니다. 따라서 Wafer 의 비접촉, 광 분석, 뛰어난 해상도 및 반복 기능을 제공합니다. 또한, 도량형 장치에는 자동 패턴 인식 모듈 (automated pattern recognition module) 이 포함되어 있으며, 이 모듈은 웨이퍼의 피쳐를 자동으로 식별하고 해당 특성을 정량화합니다. 또한 NovaScan 3090에는 통합 컨트롤러 (Unified Controller) 의 다른 테스트 후 장비와 쉽게 통합 할 수있는 자동 머신이 내장되어 있습니다. 이 도구는 또한 매우 프로그래밍 가능하여 다양한 도량형 (metrology) 및 테스트 작업에 신속하게 적응할 수 있습니다. 또한 특수 검증 (Special Validation) 도구 상자를 사용하여 다양한 도량형과 테스트 시뮬레이션을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 NOVA NovaScan 3090에는 자동 웨이퍼 처리 에셋 (wafer handling asset) 이 포함되어 있으며, 이는 도량형 하위 시스템으로 웨이퍼를 전송하는 안전하고 효율적인 방법을 제공합니다. 또한, 이 모델에는 고급 환경/안전 장치 (Environmental Environment and Safety Equipment) 가 포함되어 있어 사용자가 어떠한 위험한 환경으로부터 보호되도록 합니다. 요약하면, NovaScan 3090은 사용자에게 반도체 웨이퍼에 대한 정확하고 반복 가능한 테스트 및 도량형 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 전기적 특성화와 첨단 광학도량형기술 (Optical Metrology Technology), 자동화된 웨이퍼 처리 (Wafer-Handling), 환경보호시스템 (Environmental Protection System) 을 결합하면 모든 반도체 테스트 연구소에 이상적인 선택이 가능합니다.
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