판매용 중고 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9233450

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NOVA NovaScan 3090 Next SA
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ID: 9233450
Critical dimension measurement systems BROOKS AUTOMATION 152465 Atmospheric wafer handling robot BROOKS AUTOMATION 109752-452 FabExpress BROOKS AUTOMATION 146847 Robot controller BROOKS AUTOMATION 002-8761-01.
NOVA NovaScan 3090 Next SA는 차세대 반도체 웨이퍼 제작의 까다로운 프로세스 제어 요구 사항을 위해 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 장비에는 모든 기능을 갖춘 소프트웨어 플랫폼이 장착되어 있어 웨이퍼 시작 (Wafer Start) 에서 웨이퍼 마무리 (Wafer Finish) 까지 일관된 프로세스 제어를 보장하는 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA는 강력한 레이저 스캐너를 사용하여 하향식 검사를 수행합니다. 이렇게 하면 Wafer 의 잠재적 결함을 최소한의 시간 (time) 및 비용 (cost) 입력으로 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 레이저 기반 검출 (laser-based detection) 은 검사 과정에서 더 작은 결함 입자를 감지 할 수 있도록 보장하며, 이는 잠재적 웨이퍼 제조 결함과 관련된 수율 손실을 줄이는 데 도움이됩니다. NovaScan 3090 Next SA는 또한 200mm, 300mm, 500mm 및 그 이상의 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 스캔합니다. "웨이퍼 '크기 와 모양 을 자동 탐지 한 다음, 표면 영역 이나 관심 영역 을 스캔 하도록" 프로그램' 할 수 있다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '의 모든 부면 이 잠재적 인 결함 에 대해 철저 히 검사 를 받게 된다. NOVASCAN 3090 NEXTSA에서 사용하는 소프트웨어 플랫폼은 결함 및 오염 감지, 결함 심각도 등급, 라인 너비 측정, 오버레이 측정 및 임계 크기 (CD) 측정을 포함한 광범위한 도량형 응용 프로그램을 지원합니다. 이 소프트웨어는 QA (품질 보증) 를 위해 여러 웨이퍼 검사 실행에서 데이터를 수집, 분석, 저장할 수 있습니다. NOVA NovaScan 3090 Next SA는 정확한 CD 측정을 위해 설계된 고정밀 광학 현미경을 장착 할 수도 있습니다. 이렇게 하면 장치가 극도로 정확하고, 하위 (submicron) 수준까지 피쳐를 측정할 수 있습니다. 물리적 설계 측면에서 NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA는 컴팩트하고 효율적이며 인체 공학적입니다. 이 장치는 최소 설치 공간을 차지하며, 가능한 한 사용자 친화적으로 설계되어 운영자가 다양한 테스트 및 도량형 (metrology) 작업을 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로, NovaScan 3090 Next SA는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치로, 최고 품질의 반도체 제품의 생산을 보장하는 안정적인 프로세스 제어를 제공합니다. 이 장치는 강력한 레이저 스캐닝 기능, 다용도 소프트웨어 플랫폼, 그리고 CD 측정용 고정밀 광학 현미경을 제공하여, 가장 작은 잠재적 결함까지도 정확하게 감지할 수 있습니다. 기계의 인체 공학적 설계와 효율적인 계획 (Plan) 은 또한 웨이퍼 검사 프로세스의 생산성을 극대화하는 데 도움이됩니다.
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