판매용 중고 NOVA NovaScan 3060 #293655413

NOVA NovaScan 3060은 하이엔드 기술 노드를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 생산을위한 종합적인 웨이퍼 도량형 및 결함 검사 솔루션을 제공합니다. 이 시스템의 스캐닝 (scanning) 기술은 광학 성능과 안정성을 결합하여 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 및 결함 검사 작업에서 가장 높은 정확성을 보장합니다. 이 장치에는 뛰어난 이미지 명암과 해상도를 제공하기 위해 Adaptive focus 메커니즘과 Enhanced Current Imaging (ECI) 기술이 장착되어 있습니다. 또한이 기계는 표준, 버스트, 슬라이딩 스캔 모드의 3 가지 고속 스캔 기술을 제공합니다. 노바 스캔 (NovaScan) 3060은 모든 애플리케이션에 맞게 최적화된 장거리 광학 현미경을 사용합니다. 또한 최대 12 인치 직경의 웨이퍼 (wafer) 를 자동으로 처리 할 수있는 통합 웨이퍼 처리 도구가 있습니다. 이 자산에는 고해상도 이미징에 대한 정확한 편광 프로파일을 보장하기 위해 고밀도 편광 필터 (high-density polarization filter) 도 장착되어 있습니다. NOVA NovaScan 3060은 서브 미크론 (submicron) 수준에서 테스트 구조와 결함의 이미지를 캡처하고 프로브의 정확한 위치를 제공 할 수 있습니다. 사용이 간편하고 사용자 정의 가능한 소프트웨어를 갖춘 다중 스펙트럼, 다각도 도량형 (multi-spectral, multi-angle metrology) 모델을 통해 사용자가 신속하게 이미징 및 도량형 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 장비는 또한 시간당 최대 200 개의 웨이퍼 (wafer) 와 총 정밀도 ± 2 (m) 의 높은 처리량을 갖추고 있습니다. NovaScan 3060에는 선명화, 어두운 필드, 대비, 색상 채도 조정 도구 등 다양한 이미지 개선 알고리즘이 장착되어 있습니다. 또한, 사용자는 Wafer 이미지를 여러 해상도로 저장하여 애플리케이션에 가장 적합하게 검사하고 Wafer (웨이퍼) 를 재스캐닝 없이 검사할 수 있습니다. 전반적으로 NOVA NovaScan 3060은 이미지 처리 기능과 직관적인 사용자 친화적 인 소프트웨어의 조합으로 뛰어난 이미지 성능, 정확성, 생산성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다.