판매용 중고 NOVA NovaScan 3060 #293608929
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NOVA NovaScan 3060은 반도체 제조업체를 위해 고밀도 리소그래피 패턴을 효율적이고 정확하게 측정, 분석 및 테스트 할 수 있도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠른 측정, 다양한 뷰 (field of view), 다양한 기능을 제공하여 다양한 테스트 및 도량형 (metrology) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 지원되는 이미지 크기, 대형 뷰 필드가 있는 자동화된 올인원 (All-In-One) 플랫폼이 있습니다. 지원되는 이미지 형식은 bin 1: 1에서 최대 4: 1로 조정할 수 있으며 150mm에서 300mm 사이의 웨이퍼 크기를 지원합니다. 이 시스템은 강력한 온라인 실시간 분석을 통해 문제 영역을 신속하게 파악하고, 결함을 파악하고, 데이터를 신속하게 처리할 수 있습니다. 이 인터페이스는 다양한 그래픽 디스플레이와 오버레이 (오버레이) 를 갖춘 데이터 분석 소프트웨어 (data analysis software) 를 사용하여 데이터 시각화 및 분석을 향상시킵니다. 이 도구는 데이터를 보다 효과적으로 이해하는 데 도움이 되는 동적 실시간 이미지 (dynamic real-time image) 와 차트, 히스토그램, 다이어그램 (diagram) 에 데이터 결과를 표시할 수 있습니다. NovaScan 3060은 고급 감지 및 교정 알고리즘 및 적응 알고리즘을 사용하여 높은 정확도 도량형 측정을 생성합니다. 이렇게 하면 모든 측정 결과가 일관되고 정확한지 확인할 수 있습니다. 이 에셋에는 전체 측정 프로세스의 사용자정의를위한 매개변수를 제공하는 기본 (내장) 소프트웨어 최적화 도구가 포함되어 있습니다. 이 모델은 또한 고급 온 칩 (on-chip) 보정 소프트웨어 패키지를 특징으로하며, 특수 보정 패턴을 사용하여 정확한 노출 매개변수를 정확하고 신속하게 결정합니다. 장비는 이 정보를 사용하여 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 지형 측정을 생성하여 더 빠르고 정확한 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 패턴 인식 테스트를 가능하게 합니다. 시스템의 내장된 "웨이퍼 '수준 검사 및 인식 기능을 통해 모든 결함을 감지하고 파악할 수 있습니다. 이 장치는 보고 및 분석을 위해 이러한 정보를 저장하고 검색 할 수도 있습니다. 전반적으로 NOVA NovaScan 3060은 사용하기가 쉽고, 효율적이며, 강력한 툴로서, 많은 시간이 소요되고 미션 크리티컬한 도량형과 테스트 작업을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 견고한 기능 집합 (feature set) 과 정확한 결과를 통해 웨이퍼 (wafer) 제조업체가 작업 과정에서 처리량을 높이고 오류를 줄일 수 있습니다.
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