판매용 중고 NOVA i550 #9356921

NOVA i550은 SPTS/Oxford Instruments의 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 제품 상태입니다. 이 장비는 반도체 산업의 고급 웨이퍼 레벨 테스트, 검사 및 도량형을 위해 설계되었습니다. 다양한 툴과 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 의 생산량 및 성능을 최적화할 수 있습니다. 이 시스템에는 150mm 대화형 다중 레벨 인터페이스 스테이션 (mm interactive multi-level interface station) 이 장착되어 있으며, 수동 또는 완전 자동 테스트 전략과 함께 자동화되고 직관적인 웨이퍼 로딩이 가능합니다. 앞으로 200mm에 적응할 수있는 옵션으로 최대 150mm 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 테스트 구성 (예: RF 프로브, 온도, 습도 센서, 광학 프로브 등) 을 통해 고객의 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 또한 OCM (3D Optical Coherence Microscopy) 및 PL (Photoluminescence) 과 같은 고급 광학 도량형 도구뿐만 아니라 고급 장치 구조를위한 다양한 Photolithography 및 etching 솔루션을 갖추고 있습니다. 이를 통해 서브 미크론 수준까지 웨이퍼의 정확한 결함 시각화, 측정 및 특성화가 가능합니다. i550 의 다른 기능으로는 종합적인 소프트웨어 웨이퍼 테스트 툴 (wafer test tools) 이 있는데, 이 툴을 사용하면 데이터 구입 속도와 데이터 처리를 신속하게 수행할 수 있으며, 프로세스 및 결함 관련 영역을 쉽고 빠르게 파악할 수 있습니다. 그런 다음 이 데이터를 사용하여 필요에 따라 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동 테스트 스케줄링 (automatic test scheduling) 과 무중단 운영을 위한 직관적인 인터페이스 (interface) 를 지원하여 모든 운영 라인에 원활하게 연결할 수 있습니다. 또한, NOVA i550은 구조를 측정하기 어렵고 작고 안정적으로 분석 할 수있는 고급 도량형 기능을 제공합니다. 생산 준비 설계, 고급 테스트 및 도량형 도구, 직관적인 사용자 인터페이스 및 다양한 테스트 매개변수의 조합으로 인해 i550 은 고급 웨이퍼 (wafer) 제조 프로세스 및 반도체 연구에 이상적인 선택이 됩니다.