판매용 중고 NIKON AM-601D #9224306

NIKON AM-601D (Automated Wafer Testing and Metrology Equipment) 는 최소 운영자 개입과 함께 평면 및 패턴 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 측정할 수 있도록 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 직경이 최대 6 인치 인 웨이퍼를 측정 할 수 있으며 주사 전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 제공합니다. 통합 측정 장치는 스테이지 및 스테이지 모션 모듈, 검사 소프트웨어 모듈, 샘플 홀더 감지 모듈, 분석 소프트웨어 모듈, 웹 인터페이스 모듈 등 여러 모듈로 구성됩니다. 스테이지 및 스테이지 모션 모듈은 정확한 위치 지정 및 스캐닝 (scanning) 을 위해 웨이퍼의 이동을 제어합니다. 그런 다음 검사 소프트웨어 모듈은 선택적 편집 기능을 사용하여 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 및 데이터 조작 (data manipulation) 을 측정합니다. 샘플 홀더 감지 모듈을 사용하면 샘플을 자동으로 샘플링하고 감지할 수 있습니다. 분석 소프트웨어 모듈은 이미지와 3D 트리 맵을 표시하고 결함 위치, 황삭, 지형, 레이어 두께 등의 웨이퍼 레벨 통찰력을 제공합니다. 또한 웹 인터페이스 모듈은 시스템 관리를 위한 직관적인 제어 인터페이스 (control interface) 를 제공합니다. NIKON AM 601D는 정밀 압력 트랜스듀서, 레이저 간섭계, 수동 샘플 홀더 및 웨이퍼 평온 및 표면 거칠기 테스트를위한 기타 구성 요소를 포함하여 전체 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 또한, 이 툴은 다양한 애플리케이션별 테스트를 수행할 수 있는 Traceability 및 Customization 기능을 제공합니다. 자산의 다른 기능으로는 멀티 태스킹 기능, 유연한 자동화 및 정확한 정렬 정확성이 있습니다. 전반적으로 AM-601D 는 신뢰할 수 있는 고해상도 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 모델로, 다양한 웨이퍼 테스트 및 측정 작업을 수행하는 데 적합합니다. 다양한 애플리케이션 (application) 을 위한 평면 (flat) 및 패턴 (patterned) 웨이퍼를 빠르고 정확하게 측정할 수 있는 다양한 기능과 도구를 제공합니다.