판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9000B #293809681
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NANOMETRICS Nano Spec 9000B는 반도체 제조의 정밀도, 정확도 및 효율성에 대한 새로운 표준을 설정하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 (state-of-the-art) 기술과 매우 정교한 측정 기능을 결합하여 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 마이크로 전자 장치 생산에 사용되는 웨이퍼를 철저히 특성화할 수 있습니다. Nano Spec 9000B의 핵심에는 고급 분광 타원법 (Spectroscopic Ellipsometry) 기술이 있는데, 이를 통해 반도체 웨이퍼 표면에서 박막 특성을 파괴하지 않고 신속하게 특성화할 수 있습니다. 웨이퍼 표면에서 반사된 빛의 편광 상태 변화를 측정함으로써, 단위는 필름 두께 (film thickness), 굴절률 (refractive index), 광학 상수 (optical constant) 와 같은 주요 매개변수를 뛰어난 정확도와 반복성으로 추출할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 9000B는 자외선, 가시적, 근적외선 파장을 포괄하는 광범위한 스펙트럼 범위를 제공하여 반도체 제작 프로세스에 일반적으로 사용되는 다양한 박막 (Thin film) 재료를 포괄적으로 제공합니다. 이 넓은 스펙트럼 커버리지 (spectral coverage) 를 통해 기계는 유전체, 금속, 반도체를 포함한 다양한 유형의 필름을 유연성과 정밀도가 높게 특성화할 수 있습니다. Nano Spec 9000B는 분광 타원법 (Spectroscopic ellipsometry) 기능 외에도 반도체 산업의 다양한 도량형 문제를 해결하기 위해 다양한 혁신적인 측정 모드 및 분석 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이 도구는 여러 각도의 입사율 측정을 지원하므로 박막 특성에 대한 감도가 향상되고 복잡한 다층 구조에서 측정 정확도가 향상됩니다 (영문). 또한, NANOMETRICS Nano Spec 9000B에는 측정 결과에 대한 신속한 데이터 처리, 시각화 및 해석이 가능한 고급 데이터 분석 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 측정 데이터 (measured data) 에서 중요한 매개변수를 추출하여 박막 특성 (thin film properties) 과 품질 (quality) 을 빠르고 정확하게 평가할 수 있는 다양한 모델링 및 피팅 도구를 제공합니다. 이 자산은 높은 수준의 자동화 (automation) 및 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 측정 프로세스를 간소화하고 운영자의 개입을 최소화하도록 설계되었습니다. 고급 로보틱스 (Advanced Robotics) 모델을 사용하면 정확한 웨이퍼 처리 및 정렬을 통해 여러 웨이퍼에 걸쳐 일관된 측정 결과를 얻을 수 있으며 수동 처리와 관련된 측정 불확실성을 줄일 수 있습니다. 또한, Nano Spec 9000B는 강력한 하드웨어 구성 요소와 고급 광학 설계로 설계되어 까다로운 반도체 제조 환경에서 뛰어난 측정 성능과 장기적인 안정성을 제공합니다. 이 장비의 혁신적인 아키텍처는 흐릿한 빛 간섭, 광학 왜곡 (optical distortions) 및 기타 측정 오류 소스를 최소화하여, 확장 작업 기간 동안 안정적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 특성 결과를 제공합니다. 전반적으로 NANOMETRICS NenSpec 9000B는 반도체 제조에서 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 최첨단 솔루션으로, 탁월한 정확도와 신뢰성을 갖춘 박막 특성을 특징짓는 데 탁월한 정밀도, 다용성, 효율성을 제공합니다. 고급 분광형 타원법 (Ellipsometry Technique), 광범위한 스펙트럼 적용 범위, 혁신적인 측정 모드 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 프로세스 제어 및 품질 보증 노력을 최적화하려는 반도체 (Semiconductor) 패브에 없어서는 안될 도구입니다.
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