판매용 중고 NANOMETRICS LYNX #9203706

나노 메트릭 스 LYNX (NANOMETRICS LYNX) 는 반도체 장치 제조 산업에서 고급 프로세스 제어를 가능하게하도록 설계된 새로운 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 광학 도량형 (optical metrology), 접촉 검사 (contact scanning) 및 전기 측정의 통합 솔루션을 사용하여 웨이퍼 특성에 대한 매우 정확한 평가를 제공합니다. LYNX 는 Wafer Test, Process Monitoring 및 Metrology 를 비용 효율적인 방식으로 지원하도록 설계되었으며, 더 높은 수준의 Process 수익률과 향상된 디바이스 성능을 제공하도록 설계되었습니다. NANOMETRICS LYNX의 디자인은 도구가 있는 통합 도량형 플랫폼 (Integrated Metrology Platform) 을 사용하여 광학 도량형, 접촉 스캐닝 및 전기 측정에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 장치 높이, 서피스 거칠기, 오버레이 정확도, 전기 성능 등 다양한 장치 매개변수를 측정합니다. 광학 및 전기 검사를 결합하여 LYNX는 박막 측정 (Thin Film Measurement) 의 선택적 계층 (Layer) 의 성능을 측정 할 수 있습니다. 또한 중요한 인터페이스 레이어, 즉각적인 측면 피쳐 및 측정 된 전기 특성을 평가할 수 있습니다. 또한, NANOMETRICS LYNX는 중요한 구성 요소의 자동 매핑 및 분석을 위해 고급 이미지 처리 소프트웨어를 제공합니다. 이 소프트웨어는 장치의 측면 기능을 분석하고, 모양과 크기를 정량화하고, 스크래치, 피트, 아티팩트 등의 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 또한, 접촉 스캔 기능 (CD-SEM 및 AFM) 은 구성 요소 정렬, 오버레이 측정 및 백사이드 분석을 수행하여 항복 개선을 수행합니다. 이 기계는 결함 감지를 돕기 위해 3D 이미지의 여러 레이어에 걸쳐 시각화를 제공합니다. LYNX 는 최신 하드웨어/소프트웨어 플랫폼에서 실행되므로 유지 보수 작업을 간소화하고 성능이 향상됩니다. 이 툴은 대용량 (high-volume) 생산의 엄격한 요구에 부합하도록 설계되었으며, 다른 프로세스 툴과 통합될 수 있습니다. 더우기, "에셋 '은 여러 가지" 커스터마이제이션' 옵션 으로 특정 한 "응용프로그램 '의 필요 에 맞도록 조정 할 수 있다. 결국, NANOMETRICS LYNX는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력한 통합 솔루션을 제공하며, 정확하고, 안정적이며, 비용 효율적인 결과를 제공할 수 있습니다. 정교한 이미징 기능 덕분에, LYNX 는 프로세스 제어를 위한 다양한 요구 사항을 충족하고, 개선될 수 있습니다.