판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT ECV Pro #9174682

NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT ECV Pro는 전통적인 전자 현미경의 최고의 기능과 오늘날의 자동 도량형 기기의 힘을 결합하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 매우 다양하며 다양한 wafer 테스트 및 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 성능 측정을 강화하여 안정적이지만 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. ACCENT ECV Pro의 핵심에는 전자 빔 이미징 및 분석 장치 (electron-beam imaging and analysis unit) 가 있으며, 금속 및 유전체를 포함한 다양한 표면을 이미징 및 검사 할 수 있습니다. 이 머신은 25nm 해상도의 하향식 이미징 및 측면 이미징을 모두 구성할 수 있습니다. BIO-RAD ECV Pro의 프런트엔드 광 어셈블리 (front-end optical assembly) 에는 고화질 이미지를 수집할 수 있는 현장 포커싱 및 스테이지 컨트롤과 같은 구성 요소도 포함되어 있습니다. 또한 ECV Pro에는 웨이퍼 테스트의 정확성을 향상시키기 위해 설계된 다른 많은 기능이 포함되어 있습니다. 이 도구에는 입자 감지 및 분석 모듈이 포함되어 있습니다. 이 모듈은 2nm 크기의 입자를 감지하도록 설계되었습니다. 이 모듈에는 사전 정의 된 입자 라이브러리가 포함되어 있으며, 이 입자는 웨이퍼 (wafer) 표면의 입자를 안정적으로 식별하는 데 사용할 수 있습니다. NANOMETRICS ECV Pro에는 통계 분석 및 보고 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이 패키지는 자산이 수집한 데이터 (data) 에서 보고서를 생성하는 프로세스를 자동화하기 위해 고안된 것입니다. 또한 사용자는 Report 를 사용자 정의하여 해당 Application 과 가장 관련된 Data 만 포함할 수 있습니다. 이 패키지에는 정확하고 일관성 있는 Report 생성 프로세스를 자동화하는 데 사용할 수 있는 템플릿도 포함되어 있습니다 (영문). 마지막으로 NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT ECV Pro에는 매우 정교한 결함 감지 모듈이 포함되어 있습니다. 이 모듈은 누락 (missing), 이동 (shifted), 잘못 지향된 피쳐 (misoriented features) 와 같은 다양한 종류의 결함을 식별하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 또한 미리 정의된 결함 서명 템플릿 라이브러리 (Library of pre-defined defect signature template) 가 포함되어 있어 사용자가 결함을 빠르고 정확하게 식별할 수 있습니다. 요약하면, ACCENT ECV Pro는 매우 다재다능하고 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전자 빔 이미징 (electron beam imaging), 입자 검출 (particle detection), 통계 분석 (statistical analysis) 및 결함 검출 (defect detection) 의 조합은 생산 검사에서 고장 분석에 이르기까지 다양한 웨이퍼 테스트에 이상적인 도구입니다.