판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9351386
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ID: 9351386
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
OCD Metrology system, 12"
Model number: 1000-01363 Rev.D
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2009 vintage.
나노 메트릭 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 광범위한 반도체 및 광전자 장치에서 높은 정밀 테스트 및 모니터링 결과를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 AFM (Atomic Force Microscopy) 과 SEM (Scanning Electron Microscopy) 을 전문 소프트웨어 제품군과 결합하여 웨이퍼 구조에 대한 완벽하고 정확한 테스트 및 모니터링을 제공합니다. AFM은 웨이퍼 서피스 및 개별 장치 피쳐의 구조를 분석하는 데 사용됩니다. SEM (SEM) 은 디바이스의 전기 특성 및 다양한 구성 요소를 감지하고 측정하는 데 사용됩니다. 아틀라스 (Atlas) 는 웨이퍼 테스트에서 정확성과 반복성을 극대화하기 위해 설계된 고해상도 5 축 스테이지로 구동됩니다. 동적인 범위가 높아 미세 (Fine Detail) 에 대한 정확한 응답과 다양한 동작 주파수 (Operating Frequency) 를 제공합니다. 또한 사용자가 테스트 요구에 맞게 동작 속도, 범위, 주파수를 조정할 수 있도록 매우 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). NANOMETRICS Atlas에는 광범위한 고급 이미징 시스템도 장착되어 있습니다. 이들은 장치 기능의 고해상도 이미징, 빠른 프레임 속도 (fast frame rate) 를 통한 실시간 분석을 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 고해상도 이미징 머신, 비디오 카메라 도구, 디지털 이미징 에셋이 장착되어 있습니다. 이러한 구성요소는 모두 함께 작동하여, 사용자가 개별 테스트 요구에 맞게 손쉽게 조작하고 사용자 정의할 수 있는 포괄적인 이미징 (Imaging) 환경을 구축할 수 있습니다. Atlas는 강력하고 안정적인 테스트 및 도량형 모델로 설계되었습니다. 고급 소프트웨어/하드웨어 기술을 통합하고, 다양한 고급 모니터링/테스트 기능을 제공합니다. NANOMETRICS Atlas 는 AFM 과 SEM 을, 전문 소프트웨어 및 이미징 시스템 제품군과 결합하여, 강력하고, 안정적이며, 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비를 제공합니다.
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