판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9271275
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ID: 9271275
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
OCD Metrology system, 12"
PN: 7000-025865
Process: Metro
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2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas는 반도체 산업에 사용되는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최고 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공하도록 설계되었으며, 사용자가 기능을 측정하고 제어하여 매우 엄격한 공차를 확보할 수 있습니다. 아틀라스 (Atlas) 는 비접촉, 풀 필드 스캐닝 시스템으로, 반도체 웨이퍼 및 기타 광역 기능 (예: 필름 두께 및 저항성) 의 임계 치수를 측정 할 수 있습니다. NANOMETRICS Atlas는 WLI (white light interferometry) 및 VAM (video aperture microscopy) 을 포함한 다양한 측정 기술을 사용합니다. WLI는 광시야각 (wide-field of view) 과 나노미터 (sub-nanometer) 수직 해상도의 이미징을 제공하는 반면, VAM은 트랜지스터 (transistor), 본드패드 (bondpad) 와 같은 소규모 기능을 해결하기위한 뛰어난 측면 및 수직 해상도를 제공합니다. 이러한 기술을 통해 Atlas는 가장 복잡한 표면에서 신속하게 측정 할 수 있습니다. NANOMETRICS Atlas (NANOMETRICS Atlas) 는 또한 비 접촉 및 초고해상도 도량형의 독특한 조합을 제공하며, 가장 어려운 구조에서도 기능을 1m까지 측정할 수 있습니다. 다양한 측정 구성을 지원하여이 단위를 사용하여 평면과 곡면 (예: 3D 컨투어, 서피스 거칠기) 을 모두 측정할 수 있습니다. 또한 Atlas는 표준 10 인치 웨이퍼 지원 측정과 함께 8 인치 또는 12 인치 웨이퍼 검사 기능을 제공합니다. NANOMETRICS 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 고급 측정 기능과 함께 테스트 품질 및 반복성을 보장하는 강력한 기술 제품군도 갖추고 있습니다. 예를 들어, 자동화된 정렬 기술은 테스트 전에 자동으로 웨이퍼를 정렬하여 시간을 절약합니다. 또한 신속한 사전 정렬을위한 내장 비전 머신 (vision machine) 과 이중면 측정을위한 완전 자동화 샘플 등록 도구 (registration tool) 가 있습니다. 아틀라스 (Atlas) 는 컴팩트한 디자인과 높은 정확성을 갖춘 정밀 어플리케이션에 이상적인 선택으로 실험실 (laboratory) 과 생산 환경 (production environment) 모두에 적합합니다. NANOMETRICS 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 다양한 조건에서 신뢰할 수 있고 일관된 측정을 제공하여 사용자가 품질 보증에 대한 최고의 표준을 유지할 수 있도록 도와줍니다.
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