판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9256431

나노 메트릭 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 반도체 산업에서 사용하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 220nm 이하의 구조물과 최대 28µm 기능을 갖춘 구조물을 테스트하고 검사 할 수 있습니다. 이 시스템은 칩의 즉석 재특성화 (on-the-fly re-characerization) 를 수행하고, 장치와 프로세스 성능에 대한 정확한 데이터를 제공하고, 프로세스 중 기본 물리적 현상을 이해하도록 설계되었습니다. 아틀라스 (Atlas) 는 자동화되고 최적화된 패키지의 단일 플랫폼에 전기 테스트, 도량형, 이미징 기능을 결합합니다. 고성능 및 신뢰성을 갖춘 NANOMETRICS Atlas 는 성능 크리티컬 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. Atlas는 웨이퍼 샘플, 비파괴 전기 시트 저항 측정, 파라 메트릭 웨이퍼 레벨 테스트, 게이트 지연 측정, 자동 이온 빔 밀링에 이르기까지 다양한 테스트를 수행 할 수 있습니다. 통합 광학 현미경과 CCD (charge-coupled device) 카메라 유닛은 22 나노미터까지 고해상도 이미징 및 구조 마이크로 그래프를 허용하는 반면, 고정밀 웨이퍼 스테이지는 반복 가능하고 정확한 성능 테스트를 허용합니다. SEM (Integrated Scanning Electron Microscope) 을 사용하면 지형 및 거친 측정뿐만 아니라 표면 이미징, 두께 측정 및 임계 치수 (CD) 측정이 가능합니다. SEM (Optical Microscope) 은 나란히 이미징 및 등록을 위해 광학 현미경과 함께 사용할 수 있으며, 이를 통해 피쳐와 구조의 복잡한 특성화가 가능합니다. NANOMETRICS 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 의 정교한 자동화된 제어 소프트웨어는 테스트 및 도량형 프로세스 동안 정확한 압력 제어 및 파라미터 최적화 (optimization of parameters) 를 허용하며, 강력한 데이터 획득을 통해 장치 및 전기 매개변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 산업 준비 기술 표준을 갖추고 있으며, 클린 룸 환경으로의 통합에 적합합니다. 결론적으로, 아틀라스 (Atlas) 는 반도체 산업을위한 귀중한 도구이며, 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을 위해 정확하고 강력한 데이터를 제공하도록 설계되었습니다. 매우 정밀하고 탁월한 성능 기능을 통해 웨이퍼 (Wafer) 테스트 및 프로세스 최적화를 위한 안정적인 이동 (Go-To) 툴을 유지할 수 있습니다.