판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9249580

NANOMETRICS Atlas
ID: 9249580
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
OCD Metrology system, 12" 2009 vintage.
NANOMETRICS Atlas는 높은 정확도의 전기 측정에 사용되는 자동화된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전기 매개변수 및 웨이퍼 표면 특성에 대한 매우 정확한 측정을 제공합니다. 이 시스템은 반도체, 태양 광 (PV) 및 MEMS를 포함한 광범위한 산업에서 웨이퍼에 대한 전기 측정 및 표면 분석을 제공합니다. 이 장치에는 웨이퍼 및 샘플 로드/언로드를 자동으로 처리하기 위한 통합 샘플 관리 머신이 있습니다. 또한 최대 1,500 ° C의 모든 온도 범위에서 신뢰할 수있는 측정을위한 프로그래밍 가능한 온도 컨트롤러가 있습니다. 이 도구는 저항, 전류, 전압, 정전 용량, 인덕턴스, 전하 및 전력을 포함한 광범위한 전기 측정을 허용합니다. 또한 장치 특성을 기반으로 자동 매개 변수 감지 및 최적화를 제공합니다. 에셋에는 제조 프로세스 중 웨이퍼 매개변수를 모니터링하기위한 내장 측정 이벤트 감지 모델 (BIST) 도 포함되어 있습니다. Atlas는 또한 광학 현미경, 원자력 현미경 (AFM) 및 주사 전자 현미경 (SEM) 과 같은 표면 특성 기능을 갖추고 있습니다. 통합 주사 전자 현미경 인 토스캐너 (Toscanner) 는 웨이퍼의 표면 및 지표면 (subsurface) 에 대한 자세한 이미지를 얻기 위해 사용될 수있다. 이를 통해 장치 성능에 악영향을 미칠 수 있는 오염 물질, 결함 및 기타 이상을 식별할 수 있습니다. 이 장비는 유연성과 정확성을 위해 설계되었습니다. 여기에는 정확한 측정을 위해 매개변수와 설정을 조정할 수 있는 종합적인 제어판 (Control Panel) 이 포함되어 있습니다. 또한 표준 테스트 및 도량형 응용 프로그램 라이브러리, 사용자 프로그래밍 가능한 응용 프로그램을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. NANOMETRICS Atlas 장치는 웨이퍼 전기 특성 및 표면 특성을 매우 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. 연구, 테스트 및 제조 목적으로 반도체, 태양 광 발전 장치, MEMS 등 다양한 산업에서 사용됩니다. 통합 샘플 처리 기계, 종합적인 제어판 (Control Panel), 표준 및 사용자 프로그래밍 가능 응용 프로그램 라이브러리 (Library of Standard/user-programmable application) 는 도량형 및 웨이퍼 테스트에 유연하고 유용한 도구입니다.
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