판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9244875

ID: 9244875
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
OCD Metrology system, 12" 2005 vintage.
나노 메트릭 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 반도체 장치 제조업체 및 재료 분석 실험실을 위해 개발 된 라인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 최상위입니다. 아틀라스 (Atlas) 는 웨이퍼 제품의 선 형상, 서피스 토폴로지 및 재료 특성을 측정하고 검증하는 데 사용하도록 설계되었습니다. 이 기기는 고급 이미징 기법과 주사 전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 고정밀 3 차원 이미지 맵 및 기타 이미징 기반 데이터 형태를 생성합니다. NANOMETRICS Atlas는 광범위한 웨이퍼 제품에 대한 정확한 도량형 및 웨이퍼 테스트 측정이 가능합니다. 아틀라스 (Atlas) 는 웨이퍼 기능에 대한 자세한 이미지를 캡처하여 < 50nm OPC, 선 너비 및 간격, Vdd/Vss 라인 광학 이미징, 금속 두께 및 표면 거칠기 등의 작은 기능을 확인하고 분석할 수 있습니다. 이 시스템의 추가 기능은 저항, 커패시턴스 (capacitance), 유전율 상수 (dielectric constant) 와 같은 전기 특성을 측정하는 기능입니다. 나노 메트릭 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 한 번에 최대 24 개의 웨이퍼, 최대 976cm2의 패턴 크기, 최소 선 너비 0.2hm까지 처리 할 수 있습니다. 통합, 자동 웨이퍼 매핑 장치 (automated wafer mapping unit) 및 정교한 결함 분석 (defect analysis) 소프트웨어가 함께 제공되어 최고 수준의 측정 정확성과 기능 감지를 보장합니다. 또한 이 시스템의 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 이미지 캡처 및 샘플 처리 설정을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. Atlas는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 포괄적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 나노메트릭 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 다양한 웨이퍼 제품에 대한 자세한 이미지를 캡처할 수 있으므로 반도체 업계의 중요한 애플리케이션에 대한 정확하고 안정적인 측정이 가능합니다.
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