판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9244874

NANOMETRICS Atlas는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 최첨단 장비입니다. 장치 형상의 확장으로, 측정의 정확성과 반복성이 계속 높아질 필요성이 자동화된 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 시스템 (metrology system) 을 필요로 하게 되었습니다. 아틀라스 (Atlas) 는 자동 도량형 시스템으로 웨이퍼의 전기, 전기 매개변수에 대한 정확한 측정을 제공합니다. 여러 고성능 레이저, 센서, 제어 시스템, 그리고 동시에 여러 결과를 제공하는 데이터 획득 장치 (Data Acquisition Unit) 가 통합되어 있습니다. 기계는 접촉 저항, 높이 프로파일, 에치 깊이, 장치 라우팅 (devicerouting) 등과 같은 웨이퍼에서 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 공구는 간섭계 (interferometer) 기술을 기반으로 한 레이저 진동계를 사용하여 웨이퍼의 높이 프로파일을 측정합니다. 레이저 (Laser) 는 웨이퍼의 표면 프로파일을 감지하고 데이터를 실시간으로 수집, 분석하는 데 사용되며, 에셋은 저항성 격리 (Resistive isolation) 및 접촉 저항 (Contact Resistance) 과 같은 다양한 2 차 도량형 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 결함 탐지 (automated defect detection) 도 포함되어 있으며, 개방 회로, 쇼트 회로, 데드 쇼트 회로 등 다양한 유형의 결함을 식별하고 분류 할 수 있습니다. 장비에는 강화된 결함 표시 소프트웨어 (Enhanced Defect Marking Software) 가 장착되어 있는데, Wafer 의 영역을 표시하고 식별할 수 있으며, 결함이 있기 때문에 문제를 해결하는 데 도움이 될 수 있습니다. NANOMETRICS 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 자동화된 기능 외에도 측정 결과를 최적화하기 위해 측정 매개변수를 수동으로 조정하는 기능도 제공합니다. 이 시스템은 스팟 크기, 레이저 전원, 노출 기간 (exposure duration) 과 같은 다양한 매개변수를 수동으로 설정할 수 있으며, 커브 피팅, 통계 프로세스 제어 (statistical process control, SPC) 등과 같은 고급 데이터 분석 및 제어 기능도 제공합니다. 전반적으로, 아틀라스 (Atlas) 는 품질 웨이퍼 생산을 보장하기 위해 빠르고 정확한 측정을 제공하도록 설계된 강력하고 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 이 기계는 다양한 자동 (automated) 및 수동 (manual) 기능을 통해 최신 웨이퍼 제작 프로세스에 필수적인 도구입니다.