판매용 중고 NANOMETRICS Atlas #9221857
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판매
ID: 9221857
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2006
OCD Metrology system, 6"
ATLAS-M Analysis platform
P/N: 1000-01046 Rev B
Single ASYST load port
Tool upgraded
With particle contamination cover in 2016
Parts non-functional:
Polarizer
Torret: 4x - 15x
2006 vintage.
나노 메트릭 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 는 반도체 제작 및 연구 시설에 주로 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 크기의 웨이퍼 (wafer) 에 대한 다양한 매개변수와 피쳐를 정확성과 반복성으로 측정할 수 있습니다. 이 장치는 고해상도 CCD 검출기를 특징으로하며 다양한 슬로프, 에치 피트, 지형, 그레인 구조 및 기타 웨이퍼 기능을 매우 정확하게 측정 할 수 있습니다. 기계의 핵심은 Atlas Metrology Station입니다. 이것은 FPA (Focal Plane Array Imaging Asset), 슬릿 프로젝터 이미징 시스템 한 쌍, 반사율 스캐너, 레이저 간섭계 및 광학 프로파일러로 구성된 모듈식 도구입니다. 이 구성 요소를 사용하면 NANOMETRICS Atlas가 0.1 나노미터의 매우 미세한 해상도에서 직경 500 미크론 정도의 작은 기능을 측정하는 데 전례없는 정밀도를 제공합니다. 이 모델은 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 여러 웨이퍼에 대해 동시 측정을 수행할 수 있습니다. 사용자는 각 웨이퍼에서 수행할 측정 유형 (Type of measurement) 을 선택할 수 있으며, 정밀도 측정을 위한 올바른 매개변수 조합을 선택하는 자동화된 요구사항이 있습니다. 아틀라스 (Atlas) 는 안전한 네트워크 장비에 데이터와 결과를 저장할 수 있으며, 제조 프로세스의 다른 툴과 직접 상호 작용할 수 있습니다. 추가 분석을 위해 NANOMETRICS 아틀라스 (NANOMETRICS Atlas) 에는 다양한 다이어그램 및 통계 보고서 생성을위한 특수 소프트웨어와 통합 그래프 플로팅 기능이 포함되어 있습니다. 또한 다른 네트워크 툴 (예: 데이터 분석기, 통계 소프트웨어) 과 통합하여 유틸리티를 더욱 향상시킬 수 있습니다. 아틀라스 (Atlas) 는 강력한 시스템이며, 가장 까다로운 반도체 제작 및 연구 시설의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 정밀 측정 기능, 네트워크 연결 (Network Connectivity), 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 의 조합으로, 고성능 도량형이 필요한 모든 실험실에는 이상적인 단위가 됩니다.
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