판매용 중고 NANOMETRICS Atlas II+ #9242231
URL이 복사되었습니다!
ID: 9242231
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2016
System, 12"
(3) Load ports
(3) Modules
FFU System
EFEM Drive system
Multi-stage filtration
EFEM Transmission system
Internal robot
Stage slide system
Optical system (SE/SR)
Magnetic suspension shock absorption system
Temperature control system
Data processor
Signal interface
Data interface
Power interface
Ventilation and vacuum tests
Data analysis system
Workstation
Debugging
Wafer transfer system
Loadport
PDU Power distribution system
External power supply
Manipulator and controller
Temperature control system
Internal temperature fluctuation: 0.1°
Power supply: 220 VAC
Vacuum: 650 mm Hg
Compressed air: 100 PSI
2016 vintage.
나노 메트릭 아틀라스 II + 웨이퍼 테스트 (NANOMETRICS Atlas II + wafer testing) 및 도량형 장비는 반도체 산업에서 웨이퍼의 전기 및 물리적 특성을 특성화하기위한 정확하고 안정적이며 효율적인 도구입니다. 이 시스템은 물리적 도량형, 전기 테스트, 논리 및 패라메트릭 테스트, 전기 결함 분석, 웨이퍼 수준 물리적 도량형 등 다양한 유형의 분석을 수행하기 위한 광범위한 통합 모듈을 제공합니다. 이 장치는 웨이퍼 처리를 정확하게 제어하는 다중 축, 모터 구동 단계 주위에 구축됩니다. 이 단계에서는 웨이퍼 매핑, 결함 로컬라이제이션, 그레인/서피스 분석을 위한 정확한 모션 제어 및 포지셔닝을 수행할 수 있습니다. "스테이지 '는 또한 견고 하고 안정 되어 있어서 기계 는 여러 가지" 클리닝 룸' 상태 에서 작동 할 수 있다. 또한, 이 도구에는 해상도와 측정 정확도를 향상시키기 위해 두 개의 별도 광학 시스템이 있습니다. Atlas II + 의 유연한 검사 기능에는 전기 테스트 매개변수 및 온도, 전압, 전류, 전하, 정전기, 인덕턴스 및 저항과 같은 측정이 포함됩니다. 이 자산은 또한 측정 된 데이터를 해석하기위한 강력한 분석 도구를 제공하며, 이는 물리적 도량형 (physical metrology) 프로세스 속도를 높이는 데 도움이됩니다. 고해상도 이미징의 경우, 이 모델은 밝은 필드 및 어두운 필드 이미징, 위상 대비 이미징, 스캐닝 전자 현미경 등 다양한 광학 검사 모드를 사용할 수 있습니다. 이 장비는 수많은 도량형 웨이퍼와 호환되며, 필요한 경우 매개변수를 수정하여 재료, 처리 조건 (processing conditions) 또는 웨이퍼 (wafer) 특성의 변경을 수용할 수 있습니다. 또한, NANOMETRICS Atlas II + 를 사용하면 원하는 분석을 조정할 수 있으며, 수집된 모든 데이터는 쉽게 검색 및 분석할 수 있도록 데이터베이스에 저장할 수 있습니다. 따라서 Atlas II + 는 강력하고 효율적인 도량형 시스템으로, 사용자에게 웨이퍼에 대한 전기적, 물리적, 논리적 테스트를 수행할 수있는 다양한 기능을 제공합니다. 융통성 있는 측정, 직관적 인 작업, 데이터베이스 기능 과 결합 된 높은 정확도 로 볼 때, 그것 은 "반도체 '산업 에서 필수적 인 도구 이다.
아직 리뷰가 없습니다