판매용 중고 N&K 1512 #293755557

ID: 293755557
빈티지: 2010
Thin film measurement system 2010 vintage.
N&K 1512는 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 광범위한 반도체 웨이퍼 및 박막 (thin film) 을 측정 및 분석하기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 실험실과 산업용 응용 프로그램 모두에서 종합적인 도량형 (metrology) 기능을 제공하는 일련의 컴포넌트로 구성되어 있습니다. 1512 년은 2축 스테이징 장치 (two-axis staging unit) 로 구성되며, 원하는 위치에 웨이퍼를 정확하고 정확하게 배치할 수 있으며, 웨이퍼의 넓은 표면 영역을 촬영할 수있는 대형 고해상도 이미징 머신 (high-resolution imaging machine) 과 함께 사용할 수 있습니다. 이 이미징 도구는 5nm 크기의 기능을 감지 할 수 있습니다. 에셋의 카메라 부분은 컬러 광학 (color optical) 과 단색 (monochromatic) 극광선 (polarized light) 이미지를 모두 캡처하여 다양한 측정을 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼의 결함과 균일성을 확인하는 데 사용할 수 있습니다. 모델의 이미징 컴포넌트에는 수직 및 측면 피쳐 크기와 모양을 모두 제공하는 웨이퍼 (wafer) 표면의 지형을 측정하는 데 사용할 수있는 AFM (Atomic Force Microscopy) 모듈이 추가로 보완됩니다. N&K 1512에는 박막 (Thin Film) 과 웨이퍼 두께 (Wafer Thickness) 및 굴절 지수를 측정하는 데 사용되는 분광 모듈도 장착되어 있습니다. 박막 두께는 1 나노 미터까지, 굴절률은 1.4까지 측정 할 수 있습니다. 시스템의 이 장비 분석기 (Analyser) 구성 요소를 사용하여 사용자는 시트 저항, 커패시턴스 커패시턴스, 두께, 전송, 저항성 측정 등 다양한 측정을 웨이퍼에서 수행할 수 있습니다. Analyser 구성 요소는 데이터 입력 (Data Entry) 및 관리 (Management) 를 위한 직관적인 인터페이스와 다양한 테스트 및 분석 절차에 대한 종합적인 그래픽 출력을 제공하는 고급 소프트웨어 패키지 (Advanced Software Package) 를 통해 보완됩니다. 전체적으로, 1512는 반도체 웨이퍼 및 박막을위한 포괄적 인 테스트 및 도량형 솔루션을 제공합니다. 이 장치의 종합적인 이미징 기능 (analyer component 및 software package) 은 사용자가 웨이퍼에 있는 다양한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있게 해 줍니다. 이 구성 요소 조합으로 인해 기계는 실험실과 산업 응용 프로그램 모두에 이상적입니다.
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