판매용 중고 MITUTOYO SJ-210 #9245762

MITUTOYO SJ-210 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 장치 개발의 모든 단계에 대해 정확한 도량형 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 최종 프로세스 검사 (final process inspection) 및 품질 제어 (quality control) 를 위해 제조 공정의 에칭 또는 증착을 전후하여 웨이퍼를 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 25mm ~ 200mm 크기의 다양한 웨이퍼 크기로 작동하도록 설계되었습니다. 멀티 포인트 스캔 기능을 갖춘 비전 (non-contact) 장치를 통해 정확성과 반복성을 향상시킬 수 있습니다. SJ-210은 최대 589mm 크기의 웨이퍼를 지원할 수있는 2 축 단계를 사용하며 이동 범위는 X = 125mm 및 Y = 300mm입니다. 이 기계에는 샘플 처리를 위한 고성능 6축 (6축) 로봇이 내장되어 있으며, 표준 및 사용자 정의 처리 장치를 모두 수용할 수 있습니다. MITUTOYO SJ-210 도구는 또한 고해상도 CCD 카메라와 포지셔닝 및 미세 조정 측정 정확도를위한 4 축 수동 단계를 가지고 있습니다. 에셋에는 디지털 이미징, 서피스 프로파일링, 비접촉 측정, 패턴 인식 등 다양한 측정 도구가 제공됩니다. 비 접촉 측정의 경우, 모델은 변위, 진동 및 가속 측정에 레이저 간섭계를 사용합니다. 또한 변형 측정을위한 다양한 측정 프로브를 포함합니다. SJ-210은 사다리꼴, 직사각형, 호, 원 및 기타 모양의 패턴을 감지하고 플로팅하여 엔지니어들과 과학자들이 그에 따라 가장자리 또는 표면 프로파일을 측정하고 분석 할 수 있도록 도와줍니다. 또한, 장비는 전체 크기, 두께, 서피스 거칠기, 스텝 높이, 평평함과 같은 웨이퍼의 여러 특성을 측정 할 수 있습니다. MITUTOYO SJ-210 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 도량형 및 프로세스 검사를 수행하기위한 효율적이고 다양한 도구를 제공합니다. 기술자와 과학자들이 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기에 대해 빠르고 정확한 측정을 수행하여 웨이퍼 (wafer) 처리에 대한 포괄적 인 통찰력을 제공 할 수 있습니다.