판매용 중고 MILLBROOK MiniSIMS #9097796

MILLBROOK MiniSIMS
ID: 9097796
빈티지: 2005
System Quadruple mass spectrometer Software Manuals 2005 vintage.
MILLBROOK MiniSIMS는 고급 반도체 프로세스 제어 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 및 개별 장치에 대한 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 평가를 가능하게 합니다. 이 강력한 도량형 도구에는 고급 스캔 전자 현미경 (SEM (Scanning Electron Microscope) 과 다양한 옵션 및 액세서리 (Accessory) 가 장착되어 있어 고객의 요구를 충족할 수 있습니다. 이 장치는 단일 웨이퍼 (단일 웨이퍼) 또는 배치를 동시에 테스트할 수 있는 전례없는 수준의 처리량을 제공합니다. SEM, 에너지 분산 X- 선 분광법 (EDS) 및 이미징의 데이터를 통합 할 수있는 여러 검출기를 사용하여 여러 분석 및 이미지 캡처 작업을 수행 할 수 있습니다. 미니심스 (MiniSIMS) 는 모든 유형의 특수 이미지 캡처 기술을 사용하여 모든 유형의 반도체 (semiconductor) 및 광전자 (optoelectronic) 장치의 장치 레이어, 인터페이스 및 결함을 분석하는 데 전념하고 있습니다. MILLBROOK MiniSIMS 기계는 트랜지스터, 다이오드, MOSFET 및 광전자 장치를 포함한 광범위한 현대 장치 구조를 정확하게 분석합니다. wafer 의 parameter 를 기준으로 다른 배율로 이미지를 얻을 수 있습니다. 그런 다음, 이러한 이미지의 정보를 사용하여 구조의 품질을 평가하고, 결함을 찾아내고, 프로세스 매개변수를 조정하여 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. 또한 수동 상호 작용이 필요 없이 마스크 쇼트, 브리징, 격리 값, 쇼트와 같은 결함 유형을 신속하게 식별하는 매우 정확한 패턴 인식 (Pattern Recognition) 유틸리티를 제공합니다. 이 도구에는 모델의 분석 기능을 향상시키는 최신 Siemens-Kulite EDS 에셋이 장착되어 있습니다. 즉, 장치를 빠른 속도로 화학적/구조적으로 분석하여 효율성, 유연성, 응답 속도 향상에 기여합니다. 또한, 이 장비를 사용하면 adaptive noise filtering 및 정교한 이미지 처리 알고리즘을 이용할 수 있습니다. 전반적으로 MiniSIMS 시스템은 고급 프로세스 제어 (process control) 어플리케이션에 이상적인 솔루션으로, 효과적인 장치 테스트 및 도량형에 필요한 매우 정확한 분석을 제공합니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 와 개별 장치 (Device) 에 대한 신뢰할 수 있는 평가를 제공하며, 시장을 선도하는 시스템이 충족하기 어려운 높은 정밀도와 처리량을 제공합니다.
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