판매용 중고 MDC Duo Chuck #9171324

MDC 듀오 척 (Duo Chuck) 은 두께, 평평, 활, 피치, 위치 정렬 및 기타 매개변수를 포함하여 여러 매개변수의 동시, 높은 정확도를 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 저온 척 (low temperature chuck), 척 (chuck) 을 지원하는 견고한 섀시, 테스트하는 동안 척 (chuck) 의 이동에 대한 RPM 제어 및 정밀 제어를 모두 제공하는 컨트롤러가 포함됩니다. 저온 척 (Low temper chuck) 은 테스트 중 웨이퍼의 최대 작동 온도보다 온도를 훨씬 낮게 유지하여 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하도록 설계되었습니다. Duo Chuck은 여러 레이어와 구성 요소로 구성되어 있습니다. 하단 층에는 척 (chuck) 어셈블리를 로봇 처리 장치에 부착하는 어댑터 플레이트 (adapter plate) 가 있습니다. 두 번째 층은 극저온 마이크로 전자 척 (micro-electronic chuck) 으로, 정확한 온도 조절을 위해 가열 된 베이스 플레이트 및 온도 조절기를 포함합니다. 세 번째 레이어는 환경 격리 및 정렬 기능을 제공하는 척 (chuck) 주택이며, 네 번째 레이어는 온도 조절, 척 (chuck) 드라이브 전원 및 척 (chuck) 위치 제어 기능을 제공하는 링 기어 모터 (Ring Gear Motor) 입니다. 또한 MDC Duo Chuck은 정밀 도구 및 비접촉 초음파 기술을 갖추고 있습니다. 정밀도 (precision tooling) 는 향상된 해상도와 결과의 반복성으로 높은 정확도를 측정하도록 설계되었습니다. 비접촉 초음파 (non-contact ultrasonic) 기술을 사용하면 테스트 중에 척에 대한 웨이퍼를 정확하고 정확하게 정렬할 수 있으며, 웨이퍼는 측정에 영향을 미치지 않고 앞뒤로 (피치 각도) 위아래로 (보우 각도) 이동할 수 있습니다. 듀오 척 (Duo Chuck) 도구는 또한 고급 자체 청소 및 교정 기능을 사용하여 측정의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 자산은 척 (chuck) 에 대한 정기적 인 무결성 검사를 수행하는 내장 자체 교정 루틴 (self-calibration routine) 과 환경을 적극적으로 모니터링하고 수동 개입없이 깊은 청소를 수행하는 스마트 셀프 클리닝 엔진 (smart self-cleaning engine) 을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 웨이퍼 테스트 및 도량형에서 가장 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.