판매용 중고 MAGNETRON / CLIOTEK ATM500 #9352037

ID: 9352037
빈티지: 2002
Thin film measurement system Manual 2002 vintage.
MAGNETRON/CLIOTEK ATM500은 전용 및/또는 제품 라인 테스트 및 측정을 위해 설계된 견고하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 모든 유형의 회로 기판 (직경 500mm) 을 처리 할 수 있으므로 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 또는 관련 기판 제조업체에 이상적입니다. CLIOTEK ATM500은 저항, 커패시턴스 (capacitance), 전류 (current) 와 같은 전기 매개변수의 테스트 및 측정을 포함하여 광범위한 내장 테스트 기능을 갖추고 있습니다. 또한 유전체 상수, 고장 전압, 에칭 프로파일 (etching profile) 과 같은 웨이퍼 특성 테스트를 자동화할 수 있습니다. 또한, 특허 출원 중인 "최적화 테스트 알고리즘 (Optimized Test Algorithms)" 및 정교한 정전기 충전 감지 시스템 (electrostatic charge detection system) 과 같은 고급 기능을 통해 빠르고 정확한 테스트를 실행할 수 있습니다. MAGNETRON ATM500 장치는 단단하고 진동 방지 기계 플랫폼을 기반으로합니다. 이 기계는 이중 인코더의 정밀 DC 모터를 사용하여 기판 위치의 경우 ± 1 -m, 선형 제네바 스캔의 경우 ± 0.2 -m 이내의 정확도를 갖습니다. 이 정밀도는 기판에서 작은 구조의 테스트 및 측정을 허용합니다. 컴팩트 한 도구에는 정밀한 시각검사를 위한 정교한 광학 및 객관식 렌즈, 다이 내비게이션용 레이저 마우스, 중형 기판 처리를 위한 수동 세타 플랫폼, 스핀들 속도 조정 자산 등이 있습니다. 또한, ATM500 모델에는 조절 가능한 사다리 속도, 자동 레벨링, 에지 검사, 열 균일성/프링 등 장비 성능을 최적화하는 다양한 고급 자동화 및 제어 메커니즘이 포함되어 있습니다. 연구를 용이하게하기 위해 MAGNETRON/CLIOTEK ATM500 시스템에는 외부 테스트 컨트롤러 및 전자 장비에 직접 연결할 수있는 통합 I/O 인터페이스가 포함되어 있습니다. 통합 플러그 앤 플레이 장치는 다양한 소프트웨어, 하드웨어, 자동화 아키텍처를 준수합니다. 이 사용자 친화적 인 시스템은 테스트 설정 (test setup) 및 프로토콜 조정을 위한 광범위한 소스 코드 (source code) 라이브러리에서 지원되므로 고급 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 응용 프로그램에 적합합니다.
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