판매용 중고 LEICA LTD 800 #9278377

ID: 9278377
Laser tracker system.
LEICA LTD 800은 반도체 생산 라인을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. "실리콘 ', 석영," 알루미늄' 및 "세라믹 '등 여러 가지 기판 의 결함 을 탐지 하고 측정 하는 데 효율적 이고 정확 한 해결책 을 제공 한다. 이 시스템은 고해상도 광학 현미경, 샘플링 헤드, 이미지 분석을위한 전문 소프트웨어로 구성되어 있습니다. 현미경에는 "와퍼 (wafer) '를 이미징· 스캔하는 고해상도 디지털 카메라가 장착돼 있다. 샘플링 헤드에는 90도 회전 (rotation) 및 기울기 (tilt) 메커니즘이 포함되어 있어 정확한 결함 감지를 위해 웨이퍼 서피스의 다각도 이미지를 정확하게 캡처할 수 있습니다. 이 현미경은 또한 다른 배율로 분석을 수행하기 위해 최대 4 개의 개별 목표를 포함하고 있으며, 이는 큰 결함과 작은 결함을 모두 측정 할 수 있습니다. LTD 800 에서 사용하는 소프트웨어는 많은 기능을 제공하며, 이를 통해 정확한 결함 감지 및 측정이 가능합니다. 이 장치는 다양한 이미지 개선 알고리즘을 제공하여 명암비를 향상시키고 결함 정의를 개선합니다 (영문). 또한 자동화된 결함 감지 (automated defect detection) 모드를 제공하여 사전 설정 기준에 따라 결함을 자동으로 감지하고 측정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 균일 한 패턴 (patterning) 또는 박막 (thin film) 으로 웨이퍼를 검사하기위한 특수 스캔 모드와 함께 제공됩니다. 그림% 1개의 캡션을 편집했습니다. 이 도구는 또한 웨이퍼 및 결함에 대한 3D 시각화 (visualization) 를 제공하여 정확도가 향상되고 결함이 더 쉬워집니다. 마지막으로, LEICA LTD 800 은 다양한 보고 및 아카이빙 기능을 제공하여, 사용자가 검사 결과를 저장하고 쉽게 검색할 수 있게 해 줍니다. 자산은 또한 확장이 가능하며, 다른 시스템과의 호환성 및 추가 액세서리 지원을 제공합니다. 이러한 기능은 사용자에게 반도체 생산 라인에서 결함 감지 및 도량형을위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다.
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