판매용 중고 LEHIGHTON 1510B SA #9083756

LEHIGHTON 1510B SA
ID: 9083756
빈티지: 2007
Measurement system, 2007 vintage.
LEHIGHTON 1510B SA는 LEHIGHTON Technologies Corporation에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 지형 (topography), 서피스 마무리 (surface finish), 그레인 구조 (grain structure) 와 같은 웨이퍼 특성에 대한 포괄적인 정보를 제공하도록 설계되었습니다. 높은 정밀도로 2D와 3D 모두에서 측정할 수 있기 때문에 다양한 응용 프로그램 (application) 가능성이 있습니다. 이 시스템은 모든 유형의 웨이퍼에 적합하며, 단기/장기 테스트 프로젝트에 적합합니다. 높이 측정에서 최대 3.5 nm 해상도, x 및 y 차원에서 4.3 nm의 정확도로 신뢰성이 높습니다. 단위의 이동 범위는 스테이지 좌표 조작기 (stage-coordinate manipulator) 에 의해 제어되며 측정 해상도는 0.1 m까지 설정 될 수 있습니다. 컴퓨터 컴퓨터는 Windows 10 기반이며 터치스크린 디스플레이 및 제어판이 장착되어 있습니다. 1510B SA에는 웨이퍼 테스트에 이상적인 기능이 있습니다. 웨이퍼 지형, 서피스 마무리, 그레인 구조 및 기타 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 최대 20 m/s 의 빠른 스캔 속도와 다양한 웨이퍼를 신속하게 테스트할 수 있는 빠른 포지셔닝 기능을 제공합니다 (영문). 또한 표면 마무리 및 거친 측정에 대한 비접촉 도량형을 지원합니다. 이 도구는 리버스 엔지니어링 (Reverse Engineering) 용으로 사용할 수도 있으며 완전한 프로세스 제어 자산에 통합될 수도 있습니다. 원자 현미경 (AFM), 주사 전자 현미경 (SEM), 초점 현미경 등 FIB-SEM에 사용 된 이미지와 같은 다양한 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 보정기 (auto-calibrator) 도 장착되어 있으며, 더 나은 웨이퍼 테스트 및 분석을 위한 실시간 분석 및 피드백을 제공합니다. LEHIGHTON 1510B SA는 또한 비접촉 웨이퍼 테스트 및 추적 가능성을 지원합니다. 최대 5 개의 프로그래밍 가능한 웨이퍼 방향이 있으며, 사용자의 요구에 따라 설정할 수 있습니다. 이 장비에는 데이터 분석을위한 통계 소프트웨어가 장착되어 있으며, 웨이퍼 (wafer) 평가를 돕기 위해 3D 이미지를 생성할 수 있습니다. 전체적으로, 1510B SA는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 웨이퍼 특성에 대한 포괄적 인 정보를 제공하도록 설계되었습니다. 광범위한 기능을 측정할 수 있고, 빠른 스캐닝 속도를 제공하며, 데이터 분석 (data analysis) 을 위한 통계적 소프트웨어 (statistical software) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 리버스 엔지니어링 (Reverse Engineering) 및 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 과 추적 가능성 (Traceability) 및 비접촉 테스트 (Non-Contact Testing) 에 이상
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