판매용 중고 LEHIGHTON 1500-RS #293663340

ID: 293663340
Non-contact measurement system.
LEHIGHTON 1500-RS는 박막, 기판 및 기타 반도체 재료를 정확하고 신뢰할 수 있도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 두께, 표면 거칠기, 반사율 및 기타 전기 특성을 높은 정확도로 측정 할 수 있습니다. 최첨단 레이저 간섭법 (State-of-the-Art Laser interferometry) 기술을 사용하여 제작 된 1500-RS는 박막을 측정하는 강력한 도구이며 서브 미크론 해상도로 기질화됩니다. LEHIGHTON 1500-RS는 비접촉 광학 도량형 장치 (non-contact optical metrology unit) 를 사용하는데, 이는 웨이퍼/재료와 프로브 사이의 인터페이스가 테스트에 필요하지 않음을 의미합니다. 이는 웨이퍼 (wafer) 와 프로브 (Probe) 사이에 인감을 형성하지 않아도되며, 이는 기존의 접촉 도량형에 중요합니다. 따라서, 이 기계 는 "박막 '과" 기판' 을 회전 하는 기질 이나 제어 할 수 없는 오염 물질 이 있는 것 과 같은 여러 가지 조건 하 에서 측정 할 수 있다. 이 도구는 또한 폴리 실리콘, 질화 실리콘, 다결정 산화물, 게르마늄, 갈륨 비소 및 III-V 화합물을 포함한 광범위한 기질 물질과 호환됩니다. 또한, 1500-RS는 0.1nm까지 필름 두께를 측정 할 수 있으므로 서브 미크론 박막 및 표면을 측정하는 데 적합합니다. 에셋은 또한 고도로 반사적인 비금속 표면 (non-metallic surfaces) 과 심하게 질감 있고 패턴 화 된 재료를 테스트하도록 최적화되었습니다. LEHIGHTON 1500-RS 모델은 초고속 제어 (Ultra Fast Control) 장비로 구동되며, 속도와 정확도로 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 정교한 측정 시퀀스를 쉽게 설정하고 프로그래밍할 수 있습니다. 통합 분석 소프트웨어를 사용하면 결과를 신속하게 분석, 해석할 수 있습니다. 즉, 그래프, 히스토그램, 기타 데이터 표현으로 시각화할 수 있습니다. 1500-RS는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템이며, 반도체 장치의 얇은 기판의 품질 평가, 표면 거칠기 측정, 전자 박막 구성 평가 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 장치는 뛰어난 성능과 정확도를 보장하며, 박막 (thin film) 과 표면 (surfaces) 을 빠르고 정확하게 테스트할 수 있습니다.
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