판매용 중고 LAKESHORE 7507 #9410569
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LAKESHORE 7507은 통합 센서, 트랜스덕터 및 전자 제품을 사용하여 반도체 웨이퍼 테스트를 정확하게 측정하고 제어하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최대 6 인치 크기의 웨이퍼에 대한 환경 제어 테스트를 제공합니다. 이 장치에는 2개의 PSD (Position Sensitive Detector) 가 통합된 광학 시스템이 있으며, 이를 통해 웨이퍼 자동 정렬 및 등록이 가능합니다. 이는 웨이퍼 대 웨이퍼 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 광학 시스템은 또한 복잡한 표면 프로파일을 검사하기위한 레이저 마이크로 미터 기능을 제공합니다. 이 기계에는 XYZ 변위를 측정 및 제어 할 수있는 Motion Control Systems가 장착되어 있습니다. 이를 통해 wafer-to-wafer 및 process-to-process 반복 기능뿐만 아니라 자동 웨이퍼 전송, 매핑 및 인덱싱이 가능합니다. 7507은 열전기 히터 및 온도 센서를 사용하여 온도 조절 기능을 제공하여 프로세스 정확성과 안정성을 보장합니다. 이 온도 조절 (temperature control) 과 테스트 환경의 제어는 측정 결과의 정확성을 보장하는 데 중요합니다. 또한 바이어스 공급 장치, 앰프 및 A/D 컨버터가 장착되어 웨이퍼 두께 게이징, 평탄도 측정 및 구조적 결함 또는 기능 감지를 가능하게합니다. 내부 데이터 스토리지 및 VME-bus 인터페이스를 통해 데이터 전송 및 다른 시스템과의 통합을 유연하게 수행할 수 있습니다. LAKESHORE 7507은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 신뢰할 수 있고 정확하며 다양한 자산입니다. 통합된 하드웨어/소프트웨어 (하드웨어/소프트웨어) 기술을 활용한 이 모델은 여러 매개변수를 동시에 테스트할 수 있으며, 프로세스 개발/운영 시 측정이 반복되고 추적이 가능하도록 합니다.
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