판매용 중고 KYOWA PCD-300B #9259529

KYOWA PCD-300B는 최고의 정확성, 유연성, 처리량 및 성능을 제공하는 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동 초점 시스템이 장착 된 전용 고해상도 광학 현미경 (Optical Microscope) 을 특징으로하며, 반복 가능한 정확도 1 m 이상으로 웨이퍼를 빠르게 검사 할 수 있습니다. PCD-300B는 다양한 웨이퍼 테스터에 대해 최대 500m의 기판 프로브를 제공합니다. 또한, 일반적인 결함과 미세한 결함을 모두 감지 할 수있는 강력한 비전 유닛이 있습니다. KYOWA PCD-300B에는 최대 300mm x 300mm 면적의 다소 크고 유연한 기판을 처리 할 수있는 고급 웨이퍼 조작 머신 (Advanced Wafer Manipulation Machine) 이 장착되어 있습니다. 빠르고 정확한 동작을 통해 효율적인 웨이퍼 로딩, 그립 및 포지셔닝이 가능합니다. 이 도구는 또한 카세트, FOUP 및 MAP과 같은 다양한 웨이퍼 캐리어를 지원합니다. PCD-300B는 얇은 웨이퍼를 정확하게 측정하도록 설계된 강력한 도량형 자산을 제공합니다. 레이저 간섭 현미경 (laser interference microscope) 을 장착하여 모델이 절대 정확도 97.5nm의 평평한 표면을 측정 할 수 있습니다. 또한 전방 및 후방 얕은 트렌치 격리 (STI) 구조를 모두 측정 할 수 있습니다. 이 장비 는 또한 "나노미터 '정밀도 로" 웨이퍼' 의 땅 과 참호 모양 을 정확 하게 측정 하는 "간섭계 '를 갖추고 있다. 또한, KYOWA PCD-300B는 엔지니어가 신속하게 프로세스에 통합 할 수있는 광범위한 측정 레시피 라이브러리를 제공합니다. 공정 최적화 레시피는 테스트 및 도량형에 필요한 전체 시간을 줄여 정교한 웨이퍼 (wafer) 기능을 정확하게 측정합니다. 이 레시피는 주요 Fab 소프트웨어 패키지와 호환되며, LAN 연결을 통해 빠르고 쉽게 배포할 수 있습니다. 결국, PCD-300B 는 최고 수준의 정확성, 유연성, 성능을 제공하도록 설계된 고급, 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 강력한 도량형 장치, 전용 광학 현미경, 다양한 기판을 처리 할 수있는 웨이퍼 조작기 (wafer manipulation machine) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구는 프로세스 최적화를 위해 미리 정의된 레시피 라이브러리로 설계되었으며, 주요 fab 소프트웨어 패키지와 호환됩니다.