판매용 중고 KOSAKA LAB Surfcorder SE3500 #9399558
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KOSAKA LAB Surfcorder SE3500은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 리서치 및 프로덕션 환경을 위해 설계된 이 장비는 패턴화된 서피스 (patterned surface) 의 정확하고 반복 가능한 측정을 제공합니다. 고급 3D 스캐닝 (3D Scanning) 및 측정 솔루션에 맞춘 기술로, 웨이퍼 구조와 레이어를 상세하게 분석할 수 있습니다. Surfcorder SE3500에는 다기능 에지 검출기가 장착되어 있습니다. 이 최첨단 기술을 사용하면 모서리 곡률 (edge curvature), 드립 (dips) 및 물결 (waviness) 및 서피스 프로파일의 기타 변경 사항을 측정할 수 있습니다. 모서리 검출기는 범프 (bump), 융기 (ridge) 및 기존 기기에서 감지할 수 없는 기타 불규칙성을 감지하기위한 다양한 패턴 인식 도구를 포함합니다. 이 시스템은 또한 다양한 요구 사항에 더 잘 맞는 다양한 조명 (lighting) 솔루션을 갖추고 있습니다. 각기 다른 광원, 시야각, 기울기 각도, 투과율 (transmittance) 값으로 설정하여 상세한 지형 이미지를 캡처할 수 있습니다. 고급 광학 이미징 (Optical Imaging) 솔루션을 사용하여 범프 높이 (Bump Height) 및 기타 치수 특성을 정확하게 측정하는 솔루션을 제공합니다. 우리는 KOSAKA LAB Surfcorder SE3500을 사용하여 다른 기판에서 에칭 된 피쳐의 프로파일을 테스트합니다. 특허받은 레이저 회절 (diffraction) 방식을 사용하여 고급 기판과 같은 작은 패턴을 정확하게 측정합니다. 또한 프로세스 효과에 대한 중요한 정보 (예: 선 너비 변화, 임계 치수, 오버레이 정확도) 를 제공합니다. 이 단위는 분석을 통해 웨이퍼 (Wafer) 표면의 불규칙성을 감지하고 최상위 수준의 일관성을 보장합니다. Surfcorder SE3500에는 표면 결함 및 비 균일 성을 감지하기위한 강력한 분석 도구 세트가 포함되어 있습니다. 설계 및 프로세스 제약의 편차를 식별하는 데 도움이 되는 복잡한 SRAF (Sub-Resolution Assist Features) 및 CD (Critical Dimension) 분석을 실행할 수 있습니다. 데이터 시각화 (Data Visualization) 솔루션은 다양한 3D 이미징 옵션을 제공하여 표면 패턴에 대한 직관적이고 상세한 이해를 얻을 수 있습니다. KOSAKA LAB Surfcorder SE3500은 정확하고 안정적인 결과를 제공하는 훌륭한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 첨단 기술과 고급 솔루션 (Advanced Solution) 은 패턴화된 표면의 성능을 빠르고 정확하게 평가하는 데 도움이 됩니다. EMC 의 연구/생산 요구 사항을 충족하는 필수적인 중요한 툴입니다.
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