판매용 중고 KOSAKA LAB ET 4000A #9392648
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ID: 9392648
웨이퍼 크기: 8"
Surface profiler, 8"
Stylus tip 2 um
Vibration isolation table
Scan length, 4"
Vertical range: 100 µm
Maximum measuring range: 100 mm
Z-Resolution: 0.1 nm
Straightness: 0.1 µm / 100 mm
Reproducibility: 1σ, 0.5 nm
X, Y Stage movement: 210 mm x 210 mm
Stylus: R0.5 µm / R2 µm, 60°
Monitor, 22"
Operating system: Windows 7.
코사카 랩 ET 4000A (KOSAKA LAB ET 4000A) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 생산 수준 테스트 및 웨이퍼 수준 장치 성능 분석에 적합합니다. 이 시스템은 중요한 영역과 디바이스 성능에 대한 정확한 측정, 포괄적인 데이터 처리/보고 기능을 결합합니다. 이 장치는 처리량이 많은 처리 (high-throughput processing) 를 위해 설계되어, 짧은 시간 안에 많은 수의 웨이퍼를 신속하게 분석할 수 있습니다. 기계는 4 가지 주요 요소 (테스트 헤드, 검출기, 이미지 처리 장치 및 데이터 분석 모듈) 로 구성됩니다. 테스트 헤드에는 각 장치의 성능 (예: 전류 및 전압, 전압 고장, 주파수 응답 등) 을 측정하는 자동화된 도구가 포함되어 있습니다. 테스트 헤드의 데이터는 탐지기 (detector) 에 공급되며, CCD 이미징 에셋을 사용하여 장치의 미세한 이미지를 캡처합니다. 이미지 처리 장치 (Image Processing Unit) 는 이미지의 데이터를 식별, 추출 및 처리하여 장치 특성을 식별합니다. 마지막으로, 데이터 분석 모듈은 플롯 (plot), 결과 분석 및 보고서 생성에 사용됩니다. 이 모델은 신뢰성이 높고 정확합니다. 즉, 광범위한 매개변수를 실시간으로 측정하고 추적할 수 있기 때문입니다. 여기에는 접촉 저항, 정전기 및 전류 누출에서 저항 전압 곡선까지 모든 것이 포함됩니다. 이 장비는 뛰어난 반복 능력을 가지고 있으며, 여러 테스트 주기에 걸쳐 매우 안정적인 결과를 제공합니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스와 사용이 간편한 소프트웨어 (User Interface and Easy to Use Software) 를 통해 사용자가 원하는 결과를 얻을 수 있도록 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 배치 테스트, 다중 뷰, 고급 분석 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 장치를 다른 진단 장비와 통합하여 장치 성능에 대한 종합적인 분석을 수행할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, ET 4000A는 신뢰할 수 있고 매우 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로, 생산 수준의 사용에 적합합니다. 이 툴은 다양한 기능을 갖추고 있어 높은 처리 성능 테스트 (How-Throughput Testing) 및 품질 관리 (Quality Control) 를 위한 최적의 솔루션입니다.
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