판매용 중고 KOSAKA LAB ET 4000 #9238800
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ID: 9238800
빈티지: 2018
3D Surface roughness analyzing system
Appropriate for measurement:
Micro figure
Step height
Roughness of FPD
Wafers
Hard disks
Other nano-order application
Sample size: 210 mm × 210 mm to 300 mm × 400 mm (Maximum)
Repeatability: 1 σ within 0.5 nm
Measuring range:
Z: 100 μm
X: 100 mm
Measuring force: 0.5 μN to 500 μN
2018 vintage.
코사카 랩 ET 4000 (KOSAKA LAB ET 4000) 은 정확성과 반복성이 높은 광범위한 매개변수를 측정 할 수있는 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 스캐닝 기술 (Advanced Scanning Technology) 을 통해 마이크로 컴포넌트의 임계 치수, 다양한 토폴로지 피쳐 및 기타 임계 치수를 정확하게 측정할 수 있습니다. ET 4000 고유의 특허 디자인은 광학 및 X 선 현미경의 조합을 기반으로하며 autostage 시스템을 포함합니다. 이 단위를 사용하면 웨이퍼 (wafer) 의 자동 이동 (movement) 을 통해 있을 수 있는 모든 피쳐 범위를 측정할 수 있습니다. 또한 단계 높이 (step height), 선 너비 (line width) 및 다양한 서피스 피쳐 (surface features) 와 같은 다양한 형상 피쳐를 측정하는 기능은 복잡한 웨이퍼 측정에 이상적인 도구입니다. KOSAKA LAB ET 4000은 철저한 코어 제어 및 최적화 머신으로 고정밀 측정을 달성합니다. 이 도구에는 서보 모터 제어 스테이지가 움직이는 정밀 모션 에셋 (precision motion asset) 외에 최상위 도량형 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 스테이지 이동은 마찰과 오류 발생률이 낮은 변환을 최소화하면서 정확성과 반복성을 최대화합니다. 소프트웨어, 모션 모델 외에도, ET 4000 에는 내장형, 정확도가 높은 광학 이미지 분석 장비가 포함되어 있습니다. 이 광학 시스템은 중요 크기 (critical dimensions) 및 기타 중요한 피쳐를 빠르고 정확하게 측정합니다. 다양한 웨이퍼 치수에 따라 자동 교정 (automatic calibration) 을 수행하여 장치가 더 큰 정확도와 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 마지막으로, KOSAKA LAB ET 4000에는 토폴로지 정보 측정을위한 고정밀 디지털 이미지 분석 기계도 포함되어 있습니다. 이 도구는 서피스 피쳐, 3D 데이터 및 기타 3D 관련 매개변수에 대한 빠른 분석을 제공합니다. 이 자산에는 고해상도 데이터 획득 (high-resolution data acquisition) 및 시야 제어 (field-of-view control) 가 포함되어 있어 복잡한 기능과 표면 기능을 정확하게 측정할 수 있어 엔지니어에게 필요한 결과를 신속하게 제공합니다. ET 4000은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 이상적인 도구입니다. 정밀 동작, 이미지 분석, 디지털 이미지 분석 (digital image analysis) 을 통해 단기간에 다양한 웨이퍼 기능을 정확하고 반복적으로 측정할 수 있습니다. 코사카 LAB ET 4000 (KOSAKA LAB ET 4000) 은 복잡한 마이크로 컴포넌트 구조에 대한 신속한 평가가 필요한 엔지니어링 전문가에게 귀중한 도구입니다.
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