판매용 중고 KOKUSAI VR-70 #9095916
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KOKUSAI VR-70은 고급 이미징 및 분광학 기능을 사용하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 두께, 굴절률, 표면 거칠기, 광학 특성, 필름 응력 및 기타 프로세스 매개변수를 측정하는 높은 처리량, 초고해상도 다각도 등급 분광계가 특징입니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼의 결함 또는 입자 오염을 검사하기 위해 고정밀 비 접촉 광학 현미경을 제공합니다. 필름 두께를 테스트하기 위해 VR-70은 매우 정확한 XYZ 동력 단계 (motorized stage) 를 갖춘 독특한 기판 단계를 사용하여 웨이퍼를 빠르고, 정확하고, 정확하게 배치합니다. 이 장치는 또한 분광계 빔 (spectrometer beam) 과 광역 스캔 영역 (Wide Range Scan Area) 을 사용하여 웨이퍼 서피스의 자동 정렬을 위한 고급 자동 스캔 기능을 제공합니다. 자동 스캔 기능은 300mm-500mm 웨이퍼에서 스캔 할 수 있으며, 스캔 범위는 최대 5,000mm (x 방향) 입니다. 또한 KOKUSAI VR-70 웨이퍼 테스트 및 도량형 머신은 뛰어난 스펙트럼 해상도, 뛰어난 신호 대 잡음비 및 뛰어난 UV-VIS-NIR 광학 성능을 제공하는 고품질 광학으로 설계되었습니다. 또한 이 도구에는 굴절률 (refractive index), 필름 두께 (film thickness), 광학 특성 (optical properties) 과 같은 레이어 매개변수 계산에 사용할 수 있는 고유한 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이 소프트웨어 패키지에는 또한 시간을 절약하고 반복 가능성을 보장하기 위해 미리 교정된 일련의 알고리즘이 있습니다. 전반적으로 VR-70 (VR-70) 은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 광범위한 웨이퍼 속성의 빠르고 정확한 특성을 가능하게합니다. Wafer Testing 및 Metrology 를 위한 안정적이고 경제적인 솔루션입니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 기판 및 프로세스의 속성에 대한 자세한 데이터를 제공 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공함으로써, 쉽게 작동할 수 있으며, 사용자에게 더 나은 정보를 제공하도록 도와줍니다.
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