판매용 중고 KOKUSAI VR-120S #9142593

KOKUSAI VR-120S는 고정밀 회전 단계, 저소음, 고감도 원통형 측정 프로브, 다용도 샘플 홀더를 갖춘 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KOKUSAI VR120S는 직경이 최대 200mm 인 둥근 웨이퍼 및 비원형의 웨이퍼를 모두 측정하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 적외선 스캐닝의 경우 최대 1m까지 높은 정확도의 표준 오버레이 정확도가 포함됩니다. 이 장치에는 정밀도로 회전하고 세타 스테이지 (theta stage) 와 2 축 측정 스테이지 (micrometer accurity) 를 특징으로 할 수있는 샘플 홀더가 있습니다. 이러 한 종류 의 정밀도 로, 기계 는 다른 "시스템 '보다 더 정밀도 가 높은" 에치' 와 "에치 '된 패턴, 그리고 모양 변화 를 측정 할 수 있다. VR 120 S에는 두 가지 원통형 측정 프로브 (저소음 측정용으로 설계된 저소음 프로브, 패턴 구조에서 매우 작은 높이 차이를 감지하도록 설계된 고감도 프로브) 가 있습니다. 고감도 프로브는 0.1nm의 해상도로 4mm 측정 범위를 제공합니다. 노이즈 특성이 낮으면 공구는 정밀도가 높은 다양한 변수를 측정 할 수 있습니다. 또한 VR-120S에는 다양한 웨이퍼 크기나 유형에 맞게 조정 할 수있는 다용도 샘플 홀더가 있습니다. 여기에는 통합 클리닝 도구, 프로브를 쉽게 클리닝 할 수있는 기능이 포함됩니다. 샘플 홀더는 또한 진공 에셋을 가지고 있으며, 이 에셋은 회전할 때 샘플이 미끄러지지 않도록 합니다. KOKUSAI VR-120 S 모델은 원형 웨이퍼에 가장 적합한 원을 계산하여 직선 분석을 허용합니다. 또한, 장비는 피쳐 프로파일 (feature profile) 및 지형 분석 (topography analysis) 을 수행 할 수 있으며, 세타 스테이지의 높은 정확도와 결합하면 비원형 웨이퍼의 매개변수를 측정 할 수 있습니다. KOKUSAI VR 120 S는 훌륭한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 그것의 특징과 정확성은 모든 테스트 및 도량형 요구에 적합한 도구입니다. 이 제품은 시중의 다른 시스템과 차별화되는 정밀한 결과와 기능을 제공합니다 (영문).