판매용 중고 KOCKS 4D Eagle #293605084
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KOCKS 4D 이글 (KOCKS 4D Eagle) 은 제조업체가 반도체 웨이퍼의 전기 및 물리적 특성을 비교할 수없는 정도로 특성화할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다른 테스트 방법론 (Testing Methodology) 으로 캡처하기 어려운 다양한 속성을 측정하고 분석할 수 있도록 설계되었습니다. 스캐닝 전자 현미경, 원자력 현미경, 전기 분석, 전기 화학 분석 및 기타 기술을 결합하여 치수, 표면 지형, 전기 저항성, 게이트 누출 전류, 게이트 전하, 전압 전하, 이동성, 도펀트 농도 및 함정 밀도와 같은 특성을 측정합니다. 4D 이글 (Eagle) 은 또한 핫스팟 감지 (hot-spot detection) 기능을 제공하여 결함 원인 피쳐를 찾고 영역을 둘러싼 재료의 특성을 정확하게 분석 할 수 있습니다. 이 장치는 이중 빔 프로파일로미터 (dual-beam profilometer) 를 기반으로하며 높은 정밀도로 지형 기능을 측정 할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 표면의 작은 피쳐와 큰 피쳐를 모두 조사할 수 있습니다. 또한, 재료의 도펀트 농도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 정보를 사용하여 적절한 프로세스를 사용하여 서피스 매개변수 (surface parameters) 를 조정하여 장치 성능을 최대화할 수 있습니다. KOCKS 4D 이글 (Eagle) 은 또한 전기적 특성을 특성화하기 위해 물질을 통해 전류 흐름을 측정 할 수있는 고급 전기 화학 분석기를 함유하고 있습니다. 이 기계 는 "나노미터 '수준 의 물질 의 물리적" 파라미터' 를 포착 하는 원자력 현미경 을 특징 으로 한다. 또한 주사 전자 현미경 (scanning electron microscope) 이 장착되어 재료의 표면 지형을 분석합니다. 마지막으로, 이 툴에는 결함을 감지하고 해당 특성을 신속하게 파악할 수 있는 통합된 결함 검토 (defect review) 자산도 포함되어 있습니다. 이 검토 모델 (review model) 을 통해 미세한 결함 (minute defects) 과 원인을 파악하고 이를 해결하기 위해 수행해야 할 조치 (identification of cause and action) 를 조사할 수 있습니다. 이 모든 기능을 통해 4D Eagle은 현재 사용 가능한 가장 완벽한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다.
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