판매용 중고 KOBELCO LTA-1512 #9314399
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KOBELCO LTA-1512는 반도체 및 광전자 산업을위한 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 즉, 다양한 측정 시스템을 높은 정확도, 빠른 처리량, 직관적인 소프트웨어 (직관적인 소프트웨어) 를 갖춘 하나의 플랫폼으로 통합하여 다양한 수준의 복잡성에서 기판을 빠르고 효율적으로 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 광학 시스템 및 역학과 같은 하위 시스템을 제어하고 관리하는 AMT (Automated Measurement Tool) 를 기반으로합니다. 광학 시스템에는 이미지 센서와 웨이퍼의 광도를 측정 할 수있는 광학 장치 (optomechanical device) 가 포함됩니다. 광역학 장치는 또한 웨이퍼 표면의 저항성을 측정 할 수 있습니다. 장치의 역학에는 다양한 조정 가능한 Z축 단계 (Z축) 와 기판 보유 및 기동 공구 (tooling) 가 포함됩니다. 제어기에서는 GUI (Graphical User Interface) 와 Windows 기반 소프트웨어를 사용하여 원하는 측정값의 매개변수를 쉽게 조정하고 결과를 시각화할 수 있습니다. LTA-1512는 여러 가지 높은 정확도와 높은 처리량 측정 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 시스템에는 가변 각도 타원계 (VAE), 반사계, 산란계 및 굴절률, 반사율, 산란, 투과율 및 간섭과 같은 광학적 특성을 측정 할 수있는 간섭계가 포함됩니다. 웨이퍼 서피스의 저항성을 측정하기 위해 공구는 결합 된 기계적 (combined mechanical) 및 전기적 접촉 (electrical contact) 방법을 사용합니다. 또한 KOBELCO LTA-1512에는 3D 광 프로파일로미터 (OP) 도 있습니다. 이 에셋을 사용하여 사용자는 스텝 높이 (step heights), 스크리빙 라인 (scribing line), 공백 (void) 과 같은 다양한 웨이퍼 기능을 측정할 수 있습니다. LTA-1512 는 높은 정확도와 처리량을 통해 혁신적인 효율적인 Wafer 테스트 방법을 제공합니다. 사용하기 쉬운 GUI 및 소프트웨어를 사용하면 매개변수를 쉽게 조정하고 결과를 시각화할 수 있습니다. 고급 광학 장치, 높은 정확도 측정 시스템, 결합 된 기계 및 전기 접촉 (compined mechanical and electrical contact) 방법을 사용하면 가장 복잡한 웨이퍼조차도 빠르고 정확하게 테스트 할 수 있습니다. 이 모델은 반도체, 광전자산업에 적합하며, 정확성과 처리량을 높여 안정적이고 비용 효율적인 테스트를 제공합니다.
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