판매용 중고 KOBELCO LTA 1000 #293591940
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KOBELCO LTA 1000은 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 칩 성능 및 피쳐 크기에 대한 자세한 분석, 1 밀리미터 (mm) 의 정확도로 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 통합 분석 소프트웨어 패키지, 광학 도량형 비전 유닛, 고급 현미경으로 구성됩니다. 이 소프트웨어는 사용자 친화적 인 인터페이스로 활성화되어 있어 백그라운드 (background) 지식이 없는 운영자에 적합합니다. 광학 도량형 기계는 확대/축소 입체 현상 기법과 디지털 신호 프로세서 (DSP) 를 사용하여 세부 3 차원 (3D) 표면의 비 접촉 측정을 허용합니다. 최대 0.25äm의 3D 해상도로 칩 기능을 높은 정확도로 측정 할 수 있습니다. 또한 현미경에는 내장 이미지 인식 및 향상된 필터링 기능이 포함되어 있어 정확성을 향상시킵니다. KOBELCO LTA-1000은 전기 및 기계적 특성, 물리적 특성, 웨이퍼 수준 결함 검사 등 다양한 테스트 방법을 지원합니다. 측정 절차는 프로세스 조건 (process condition) 과 디바이스 구조에 대한 정보를 얻기 위한 패라메트릭 테스트를 기반으로 합니다. 예를 들어, 패라메트릭 테스트는 접촉 저항, 전체 피쳐 크기, 칩 컴포넌트의 오버레이 정확도와 같은 정보를 제공할 수 있습니다. 특히, 이 도구는 유전층과 같은 퇴적된 재료의 이미지 품질을 분석 할 수 있습니다. 또한, LTA 1000 은 추적을 용이하게 하기 위해 측정된 데이터를 특정 부품에 연결하고, 설정 (setup) 을 테스트할 수 있는 데이터 로깅 기능을 갖추고 있습니다. 에셋에는 열 확산 (thermal diffusivity) 을 측정 할 수있는 열 전달 모듈도 포함되어 있으며, 이는 재료 특성에 유용합니다. 이 모델은 또한 동작 및 진동 격리, 방진 덮개 및 안전한 터치 작동 장비를 제공합니다. LTA-1000 은 소형화 (miniaturized) 구성요소를 개발하는 데 필수적인 툴로서, 탁월한 정확성과 정확성을 제공합니다. 즉, 직관적인 제어 및 데이터 수집 기능을 통해 안정성이 높으며, 더욱 빠르고 향상된 웨이퍼 (wafer) 수율을 제공합니다.
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