판매용 중고 KOBELCO / LEO RPW-1000M #9384690

KOBELCO / LEO RPW-1000M
ID: 9384690
Wafer shape measuring resistance system.
KOBELCO/LEO RPW-1000M은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 고급 광학 측정 장비로, 이 시스템은 서브 미크론 정확성과 반복 성을 제공합니다. LEO RPW-1000M의 중심에는 풀 웨이퍼 (full wafer) 에서 로컬라이제이션 (localized) 영역까지 다양한 측정 형식의 백라이먼트 CCD 카메라가 있습니다. 광 장치 (Optical Unit) 는 자동 웨이퍼 스캐닝을 위한 고해상도 단계와 연계되어 오차를 최소화하는 데 도움이 됩니다. 또한 진동 감쇠를 통해 정확성과 안정성이 향상됩니다. 이 기계에는 정교한 제어판 (Control Panel) 이 있어 다양한 Wafer 테스트 및 Metrology 매개변수를 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 여기에는 결함 분석을위한 정밀 그루빙 (precision grooving), 프로파일 측정, 자동 정렬 조정, 정확한 웨이퍼 얇은 기능 등이 포함됩니다. KOBELCO RPW-1000M은 벌크 실리콘 웨이퍼에서 다양한 기능을 측정 할 수 있습니다. 고급 에지 검출 기능으로 패턴화 (patterned) 및 비 패턴 (non-patterned) 기능이있는 웨이퍼에서 정전기 방전을 측정하는 데 이상적입니다. 또한 양수 및 음수 방향으로 최대 10 배 (10 배) 까지 표면 지형 및 이미징을 측정 할 수 있습니다. 이 툴은 최대 78 개의 서로 다른 사용자 프로필을 저장할 수 있으며, 멀티 스테이션 작업을 위해 원격 회수할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 사용하면 대규모 데이터 세트를 기존 방식의 일부 시간에 처리할 수 있으므로 처리 시간이 단축됩니다. LEO 고객 지원의 지원을 받는 RPW-1000M 은 연구/운영 수준 고객의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 자산은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 을 위해 포괄적인 소프트웨어 패키지 라이브러리를 갖추고 있습니다. 광범위한 엔지니어링이 지원하는 내구성과 안정성을 갖춘 KOBELCO/LEO RPW-1000M은 탁월한 가치와 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다.
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