판매용 중고 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #9293267

KLA / TENCOR Zeta Scan 280
ID: 9293267
System.
KLA/TENCOR Zeta Scan 280은 반도체 칩, 박막, 평면 패널 디스플레이를 포함한 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작을 모니터링하기위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 표면 지형, 필름 두께, 다이 높이 (die height), 웨이퍼 기판의 응력 (stress) 과 같은 매개변수를 측정하도록 설계된 고해상도 이미징 시스템입니다. KLA 제타 스캔 280 (KLA Zeta Scan 280) 은 최첨단 초점 현미경을 기반으로 한 광학 장치로, 고급 명암 감도 및 확장 된 필드 심도 기능이 장착되어 있습니다. 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 위해 5 축 스테이지 머신을 갖추고 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 한 곳에서 웨이퍼 위치, 이미지 캡처 및 설정을 제어할 수 있습니다. TENCOR ZETASCAN 280은 광원, 렌즈, 필터를 사용하여 디지털화된 웨이퍼 이미지를 캡처합니다. 스캔한 이미지는 알고리즘에 의해 분석되어 서피스 높이, 다이 높이, 필름 두께, 응력 등과 같은 값을 추출합니다. 데이터를 조작하여 보고서 (Report) 형식으로 테이블 형식의 결과 디스플레이를 생성할 수 있습니다. KLA ZETASCAN 280은 브라이트 필드, 다크 필드, 분광 영상을 포함한 다양한 도량형 기술을 지원합니다. 최대 60 이미지/초의 스캔 속도를 통해 기판 매개변수의 비파괴적, 고속 측정이 가능합니다. Zeta Scan 280 은 강력한 wafer 테스트 및 도량형 툴로서, 복잡한 마이크로 디바이스의 제작을 모니터링하기 위한 고급 이미지 처리 기능과 고속 데이터 획득 기능을 제공합니다. 매우 정확한 이미징 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 탁월한 정확성 등으로 인해 반도체 제조업체에게는 이상적인 선택이 됩니다.
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