판매용 중고 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #293597954
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293597954
Wafer inspection system
Laser spot: 405 nm
High speed scanning optics
Motorized XY Stage, 8"
LCD Color monitor, 30"
Nominal: 2560 x 1600 pixels
Wafer handler, dual arm
Light tower
(4) Cassette locators for 4/6"
ULPA Filter
OCR For backside wafer ID reader
Exhaust RFE
GEM / SECS
HSMS
PC Controller:
Operating system: Windows 7
Processor: 64-bit Intel Core 2 Duo
RAM: 64 GB
Hard Disk Drive (HDD): 500 GB
Data acquisition cards.
KLA/TENCOR Zeta Scan 280은 고성능 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 산업 도량형 작업에서 고유하게 다양한 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 광범위한 4, "6" 및 8 "웨이퍼 테스트 기능을 제공하여 웨이퍼 테스트 및 데이터 분석 과정에서 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 스캔 280 (Scan 280) 에는 2 개의 레이저 센서가 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 의 뒷면 표면 및 앞면 및 데이터 분석을 동시에 테스트할 수 있습니다. "레이저 '방아쇠 에 의하여" 센서' 가 활성화 되고 "웨이퍼 '가 검사 됨 에 따라 서로 추적 하여" 웨이퍼' 에서 정확 한 "데이터 '를 검색 하는 빠르고 신뢰 할 만한 방법 을 제공 한다. 이 장치의 고급 광학 이미징 기술 (Optical Imaging Technology) 은 광범위한 해상도 옵션을 제공하며, 엔지니어가 웨이퍼 테스트 데이터를 의미있게 분석 할 수있는 중요한 세부 사항을 달성 할 수 있습니다. 고급 이미지 획득 머신과 매우 빠른 레이저 스캐닝 툴 (scanning tool) 을 통해, 이 자산은 2D, 3D 및 4D 데이터를 매우 효율적인 방식으로 획득하고 분석할 수 있습니다. KLA Zeta Scan 280은 지능형 로봇 암을 사용하여 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼를 운송합니다. 이 "로봇 '암 은 여러 가지 독자 의 안전 기능 을 갖추고 있으며, 복잡 한 움직임 을 수행 할 수 있으며, 그 로 인해 여러 가지 크기 의" 웨이퍼' 를 정확 히 파악 하고 평가 할 수 있으며, 오염 물질 을 피할 수 있다. 또한, 웨이퍼 전송 (wafer transport) 모델은 원하는 결과를 얻기 위해 이미지를 정확하게 포커싱하고 캡처합니다. 높은 수준의 정확성을 제공하기 위해 TENCOR ZETASCAN 280 장비에는 여러 가지 추가 보호 안전 메커니즘이 제공됩니다. 무접촉 제한 스위치 (Contactless Limit Switch) 가 장착되어 있어 수송 중 웨이퍼가 잘못 처리되지 않으며, 예기치 않은 전원 장애 발생 시 장치가 안전하게 유지되도록 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '에는 내부 산소 보호 장치 와" 레이저' 를 작동 중 에 안전 하게 유지 하는 통합 "레이저 '방패 가 들어 있다. KLA/TENCOR ZETASCAN 280은 강력하고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 머신으로, 반도체 업계의 요구 사항을 충족하도록 설계 및 제작되었습니다. 이 툴은 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 테스트하고 의미있는 데이터 분석을 검색할 수 있으며, 세부 수준 (detail) 은 성공적인 반도체 생산과 높은 품질의 반도체 생산의 차이를 만들 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다