판매용 중고 KLA / TENCOR Zeta 20 #293779066

ID: 293779066
빈티지: 2019
Microscope 2019 vintage.
KLA/TENCOR Zeta 20은 반도체 웨이퍼의 정밀 품질 검사를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 특허받은 NORM (Non-contact Optical Rotary Motor) 기술로 구동되며, 웨이퍼 표면 및 가장자리에서 효율적인 고속 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 0.2 실수까지 기능을 감지할 수 있으며, 제조 및 오염 테스트 중에 웨이퍼 (wafer) 형성을 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 고효율적이고 정확한 광학 위치 장치 (optical positioning device) 를 사용하여 검사 중에 웨이퍼를 회전시킵니다. 이렇게 하면 피쳐 길이와 너비를 정확하게 측정할 수 있습니다. 모터 (motor) 는 주어진 점에서 웨이퍼 (wafer) 의 양면에서 최대 400 개의 일련의 측정을 여러 번 제공 할 수 있습니다. 또한 정확한 이미징을 위해 대상 표면의 균일 한 조명을 제공하기 위해 향상된 LED (light-emitting diode) 어레이가 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 정확한 필터링 단계를 포함하여 웨이퍼 형태 (wafer shape) 및 서피스 거칠기 (surface roughness) 와 같은 주요 매개변수를 정확하게 감지 할 수 있습니다. 모든 결과는 도구의 사용자에게 친숙한 그래픽 디스플레이에서 볼 수 있습니다. 이 자산은 신뢰성이 높게 설계되었으며, 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 표준 도량형 시스템 (Standard Metrology Systems) 과 상호 작용하여 여러 기기 간에 데이터를 전송할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델에는 또한 대조 변경 감지 (Contrast Change Detection) 및 자동 경보 설정 (Automatic Alarm Setting) 을 포함한 다양한 자동 기능이 있습니다. 이렇게 하면, 감지된 값이 지정된 범위를 벗어날 때 사용자에게 자동으로 알림으로써 효율성을 높이고 정확도를 높일 수 있습니다. KLA Zeta 20 장비는 반도체 웨이퍼 검사 및 도량형을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 그 정확성과 자동화 기능은 생산성을 높이고 반도체 장치의 품질 제어를 향상시키는 데 도움이됩니다.
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