판매용 중고 KLA / TENCOR Zeta 20 ZFT #9307818
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KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT는 생산 규모 웨이퍼 검사, 분석 및 결함 탐지를 위해 정확하고 정확한 데이터를 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 검사 및 도량형 도구를 결합하여 반도체 제작에서 높은 수율에 대한 안정적인 결과를 제공합니다. KLA Zeta 20 ZFT의 핵심 구성 요소에는 강력한 이미지 디지타이저, 정량적 패턴 인식, 고해상도 디지털 카메라 및 고급 웨이퍼 매핑 기능이 포함됩니다. 디지타이저 (Digitizer) 는 광도, 패턴 인식 알고리즘 (Pattern Recognition Algorithm) 을 기준으로 결함을 측정하여 결함이 정확하게 판별되도록 고해상도 이미지를 전달합니다. 고급 웨이퍼 매핑 (Advanced Wafer Mapping) 기능은 웨이퍼 서피스를 실시간으로 매핑하고, 좋은 검사 결과를 얻기 위해 웨이퍼 (Wafer) 의 최적의 방향을 결정합니다. TENCOR Zeta 20 ZFT는 자동 비교/자동 분석, 정밀 분석, 임의의 결함 감지, 임계 치수 테스트 및 Z 오류 필트레이션을 포함한 다양한 실시간 스캔 및 도량형 옵션을 제공합니다. 자동 비교/자동 분석 (Auto-Compare/Auto-Analyze) 기능은 중요한 치수 측정에 대한 최적의 배치를 결정하는 빠른 결함 매핑을 제공합니다. Precision 분석 (Precision Analysis) 모드는 샘플 슬라이스의 고해상도 이미지를 생성하여 빠르고 정확한 결함 감지를 제공합니다. 임의의 결함 감지 (Random Defect Detection) 는 알고리즘을 사용하여 웨이퍼의 임의의 결함을 자동으로 감지하고 분류합니다. 마지막으로, Critical Dimension Testing (Critical Dimension Testing) 은 복잡한 패턴에 대한 높은 정밀도 측정을 제공하여 피쳐의 임계 치수를 결정합니다. 또한 Zeta 20 ZFT는 고급 Z-Error Filtration을 사용하여 통계 변형, 교차 웨이퍼 효과, 전기 간섭, 웨이퍼 소음 등 불필요한 정보를 감지하고 필터링합니다. 따라서 기술의 이전 이터레이션과 비교했을 때 높은 정확도를 얻을 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT는 반도체 제작에서 높은 수율을 보장하도록 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 최첨단 이미지 디지타이저, 패턴 인식, 디지털 카메라, 고급 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기술을 통합하여 정확한 결과를 제공합니다. 또한 변화하는 생산 요구를 충족시키기 위해 많은 스캔 및 도량형 모드를 제공합니다. 마지막으로, 고급 Z-Error 필터레이션 기술은 데이터 정확성을 더욱 향상시킵니다.
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