판매용 중고 KLA / TENCOR VP 10 #9226132

KLA / TENCOR VP 10
ID: 9226132
웨이퍼 크기: 6"
RS Gauges, 6".
KLA/TENCOR VP 10 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 재료를 평가하고 특성화하기위한 다용도, 고성능, 매우 정확한 산업 도량형 장치입니다. KLA VP 10은 레이저 간섭계를 사용하여 웨이퍼 표면의 물리적 특성 (예: 스텝 높이, 입자 구조, 결함 밀도) 을 측정하는 고급 와디 전류 검사 도구입니다. 통합 카메라 기반 광학 현미경을 사용하면 고해상도 프로세스 모니터링 및 결함 진단이 가능합니다. 이 기기는 빠른 데이터 분석 및 보고 기능을 통해 자동화된 작동에 더욱 최적화되었습니다. TENCOR VP 10의 중심에는 정밀 제작, 철저한 테스트, 신뢰성이 높은 레이저 간섭계가 있습니다. 이 간섭계는 고해상도 카메라 어레이와 결합 된 저일관성, 단일 주파수 레이저를 사용합니다. 그런 다음 시스템은 웨이퍼 서피스의 광학 경로 길이를 측정하여 엄청나게 정확한 지형 프로파일 (topography profile) 을 제공합니다. VP 10의 레이저 간섭계의 장점은 초박층 (ultra-thin layer) 과 박막 (photoresist) 과 웨이퍼 (wafer) 얇은 공정 등 얇은 필름의 특성을 측정하는 능력입니다. 웨이퍼 테스트를 위한 일체형 솔루션인 KLA/TENCOR VP 10은 또한 다양한 고급 도량형 도구를 지원합니다. 이러한 도구를 사용하면 중요한 치수, 결함 밀도, 패턴 피쳐의 균일성을 높은 정확도로 측정 할 수 있습니다. 또한 다양한 크기와 모양을 쉽게 사용할 수있는 다양한 샘플 홀더 (sample holder) 가 있습니다. 마지막으로, KLA VP 10 의 고급 데이터 분석 소프트웨어 (Advanced Data Analysis Software) 는 여러 웨이퍼에 대한 포괄적이고 정확한 추세 분석 기능을 제공하여 길이 데이터를 분석하고 제조 비용을 절감할 수 있는 강력한 툴을 제공합니다. TENCOR VP 10은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서, 정확도가 높은 측정과 다양한 강력한 도량형 도구를 제공합니다. 이것은 반도체 소자 제조업체에서 마이크로 일렉트로닉스 공장 (microelectronics factory) 에 이르기까지 다양한 산업에 이상적인 도구입니다. 파퍼 (Wafer) 와 박막 (Thin Film) 의 물리적 특성에 대한 통찰력을 얻기 위한 안정적이고 효율적인 도구이며, 생산성을 최적화하려는 모든 비즈니스의 귀중한 도구입니다.
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