판매용 중고 KLA / TENCOR VM 1020 #9293536

KLA/TENCOR VM 1020은 결함 검토, 측정 및 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 인체 공학적, 높이 조절 가능한 검사 플랫폼을 기반으로하며, 각각 자체 optic, electronics 및 automation 기능을 갖춘 최대 4 개의 프로세스 모듈을 지원합니다. 이 장치는 표준 (standard) 및 비표준 (nonstandard) 크기와 구성을 포함하여 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 처리할 수 있습니다. KLA VM 1020에는 푸리에 변환 적외선 (FTIR) 이미징, 고출력 이미징, 초점 현미경, 디지털 이미지 상관 관계 (DIC) 및 자동 초점 교정을 포함한 고급 광학이 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 자동 스캐닝, 입자 감지 및 분석, 여러 층의 기판에 결함의 정확한 배치를 특징으로합니다. 이중 빔 레이저 간섭법, 전방향 색상 코드 결함 매핑, 테스트 데이터의 "드롭 오프" 와 같은 특수 기능으로, 안정적인 도량형 결과를 보장합니다. 이 시스템에는 향상된 데이터 보안, 암호 보호 액세스, 심층 문제 해결, 네트워크 가능한 소프트웨어 등 다양한 유틸리티와 기능이 있습니다. 숙련된 사용자가 도구 매개변수를 사용자 정의할 수 있도록 소프트웨어 개발 키트 (Software development Kit) 를 사용할 수 있으므로 더욱 자세히 분석할 수 있습니다. 반도체 생산, 칩 테스트, 리소그래피, 바이오 메디컬 리서치 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. TENCOR VM 1020은 웨이퍼와 기판 재료를 빠르고, 정확하고, 반복적으로 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 첨단 기술과 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 초보자에게도 장치를 쉽게 사용할 수 있습니다. 유연한 설계/구성 옵션을 통해 모든 프로세스 품질 (in-process quality) 또는 연구/개발 프로젝트를 완벽하게 선택할 수 있습니다.