판매용 중고 KLA / TENCOR UV 1050 #293750635

KLA/TENCOR UV 1050은 중요한 반도체 프로세스 매개변수의 정확한 측정 및 모니터링에 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠른 진동 셔터 (oscillating shutter) 와 레이저 정렬 (laser alignment) 기술을 자동화된 6축 스테이지와 결합하여 정확한 매크로 등록이 가능하며, 결함 검사 및 다중 다이 강도에 대한 검토를위한 고급 다용도 장치를 만듭니다. 고급 다이-투-다이 추적 (die-to-die tracking) 및 빠른 비접촉식 도량형 (fast non-contact metrology) 과 같은 기능은 기계가 최고의 정확성과 반복성으로 반도체 프로세스 매개변수를 측정 할 수 있도록 합니다. 이 도구는 고출력 자외선 조명에서 트랜지스터, 유전체 구조, 구리 상호 연결, 접촉 패드 및 깊은 참호와 같은 3 차원 구조를 검사 할 수 있습니다. KLA UV 1050에는 고급 광학 자산 (10K 픽셀 UV 광원 포함) 과 인코더 (encoder) 및 스테이지 컨트롤러 (on board computer) 가 모두 포함된 고급 정렬 모델이 포함되어 있습니다. 데이터는 CCD 카메라로 캡처되며, 12 비트 캡처 해상도, 1 밀리초 미만의 이미지 캡처 속도, 고정밀도 초점이 제공됩니다. 이 장비에는 자동 정렬 및 추적, 내장 비전 센서, 수동/자동 임계값 설정, 이미지 캡처 미리 보기, 고급 측정, 분석 및 보고 기능 등 정확성을 보장하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 시스템의 자동 작업 (automated operation) 은 프로세스 최적화, 결함 위치 평가 등 맞춤형 애플리케이션을 실행하도록 프로그래밍될 수도 있습니다. TENCOR UV 1050은 간단한 작동을 위해 설계되었으며, 설정과 운영자의 개입을 최소화합니다. 고급 옵틱 (optic), 통합 UV 조명 소스 (integrated UV lumination source) 및 직관적인 사용자 인터페이스를 통해, 이 장치는 미묘하고 도전적인 결함을 신속하게 파악하고 사용자에게 프로세스 제어 및 향상된 수율에 대한 정확하고 안정적인 데이터를 제공할 수 있습니다.