판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293793232

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP는 고급 레이저 열 이미징 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 적외선 열그래피 (infrared thermography) 를 사용하여 서브 미크론 해상도에서 웨이퍼의 전기 저항성을 측정하여 다양한 반도체 생산 프로세스에 적합합니다. KLA TP 630XP는 수동 정렬 또는 측정 후 계산이 필요하지 않은 복잡한 3 차원 구조를 측정 할 수 있습니다. 반도체 칩 제조에 사용되는 박막, 기능, 재료에 대한 빠르고 파괴적이지 않은 테스트를 수행합니다. "웨이퍼 '는" 레이저' 광선 으로 조명 되고 열 영상 "카메라 '에 의해 등록 된 적외선 은 상대적" 비저항' 값 으로 전환 된다. 이 시스템은 초당 최대 5,000포인트 (P/S) 의 데이터 획득 속도로 빠르고 안정적이며, 포괄적인 분석을 실시간으로 수행할 수 있습니다. 안전 장치 (Safety Mechanism) 가 내장되어 있으며 고온과 같은 위험 요소를 경고하는 여러 경보가 있습니다. 이 장치의 보고 기능을 통해 거의 즉시 데이터 세트를 저장하고 분석할 수 있습니다. TENCOR TP 630XP는 고도로 현지화된 비선형성 경우에도 웨이퍼를 켜거나 벗어나는 모든 방향 (양방향 저항성) 으로 저항 값을 정확하게 측정 할 수 있습니다. TP 630XP의 양방향 저항성 측정은 정확하고 반복 가능하며 추적 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 고성능 이미지 획득 및 신호 분석으로 인해 심층 서브 미크론 (submicron) 구조에서 고급 테스트에 적합합니다. 열 이미징 기능 외에도 THERMA-WAVE TP 630XP에는 데이터 및 매개 변수 측정을위한 프로세스 제어 기계와 같은 특수 도량형 도구, 프로세스 오류의 효율적인 식별을위한 빠른 결과 분석 (Rapid Results Analysis) 도구가 포함되어 있습니다. 또한 자동 정렬 (Auto-Align) 및 안정화 (Stabilize) 메커니즘과 같은 기능을 사용하여 수동 정렬 비용을 줄일 수 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP는 반도체 산업의 많은 생산 프로세스에 적합한 효율적이고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 첨단 열 이미징 (thermal imaging) 및 도량형 (metrology) 기능을 통해 복잡한 3 차원 구조를 빠르고 정확하게 분석할 수 있으며, 내장 안전 기능 및 보고 기능을 통해 모든 종류의 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구 사항에 대해 안정적이고 안전한 모델이 됩니다.