판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759750
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ID: 293759750
빈티지: 2008
Metrology system
Lamp housing
ANORAD Stage assy
Upper and lower drawer
Aligner
Front UI
Rear UI
(2) Lasers
(2) ASYST ISOPORT Load ports
KAWASAKI 3NX520B-A005 Robot
KAWASAKI Robot controller
(4) KINETIC SYSTEMS Vibraplane
Part number:
400076-04-0 055
400076-03-0055
400076-03-0055
400076-03-0055
PC
2008 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP는 유명한 반도체 장비 제조업체 인 KLA Corporation이 개발 한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템은 광학 도량형 및 검사 기술에 대한 TENCOR 전문 지식과 박막 도량형의 THERMA-WAVE 능력을 결합하여 반도체 제작 및 프로세스 제어를 위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. KLA TP 630XP 장치의 핵심에는 여러 측정 기술을 사용하여 정밀도 및 정확도가 높은 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 다양한 특성을 특성화하는 정교한 광학 측정 엔진이 있습니다. 이 기계는 고급 분광 타원계, 반사 측정 및 산란 측량 기능을 갖추고 있으며, 이는 하부 나노 미터 해상도를 갖는 필름 두께, 컴포지션, 거칠기 및 기타 중요한 매개변수에 대한 자세한 분석을 수행 할 수 있습니다. TENCOR TP630XP 도구의 주요 강점 중 하나는 반도체 제조 공정의 여러 단계에서 비파괴적, 인라인 도량형 측정을 제공하는 능력입니다. 이 자산을 FAB (Fab Production Line) 에 직접 통합함으로써, 제조업체는 필름 증착, 에칭 및 기타 프로세스 단계를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있으며, 신속한 프로세스 최적화 및 향상된 결과를 얻을 수 있습니다. THERMA-WAVE TP 630XP 모델에는 박막 (Thin film) 과 기판의 광학적 특성에서 미묘한 변화를 포착할 수있는 매우 민감한 탐지 장비가 장착되어 있습니다. 이 민감성을 통해 시스템은 초기 단계에서 결함, 오염, 변이 처리 (process variation) 를 감지하여 항복 손실을 방지하고 고품질 반도체 장치의 생산을 보장할 수 있습니다. 도량형 기능 외에도 TP630XP 장치는 웨이퍼 매핑 및 결함 검사를 위해 설계되었습니다. 이 기계는 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 필름 두께 균일성, 형태 및 기타 특성의 고해상도 맵을 생성 할 수 있으며, 프로세스 변형 및 웨이퍼 품질에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP630XP 도구는 완전히 자동화되고 소프트웨어를 기반으로 하여 설치, 운영 및 데이터 분석을 쉽게 수행할 수 있습니다. 자산의 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 운영자는 맞춤형 측정 레시피를 만들고, 데이터 시각화를 수행하고, 최소한의 교육이나 전문 지식이 필요한 종합적인 보고서를 생성할 수 있습니다. KLA TP630XP 모델은 다양한 반도체 재료 및 프로세스와 호환되므로 고급 논리, 메모리, 광전자 장치 제조 (optoelectronic device manufacturing) 에 적합합니다. TENCOR TP 630XP 장비는 연구 개발 환경 (Research and Development Environment) 이나 대용량 생산 라인 (Production Line) 에서 반도체 산업의 진화하는 요구를 지원할 수있는 탁월한 도량형 기능을 제공합니다. 전체적으로 THERMA-WAVE TP630XP 시스템은 웨퍼 테스트 및 도량형을위한 최첨단 솔루션으로, 안정적이고 사용하기 쉬운 플랫폼에서 고급 측정 기능, 실시간 프로세스 모니터링, 결함 검사 기능을 제공합니다. TP 630XP 장치는 첨단 옵티컬 테크놀로지 (Optical Technologies) 와 종합적인 측정 기능으로, 최첨단 장치를 위한 더 높은 수율, 향상된 품질, 더 빠른 출시 시간을 실현하고자 하는 반도체 제조업체에게는 필수적인 도구입니다.
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