판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759748
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ID: 293759748
빈티지: 2006
Metrology system
Lamp housing
ANORAD Stage assy
Upper drawer
Lower drawer
Laser
(2) ASYST ISOPORT Load ports
KAWASAKI 3NX520B-A005 Robot
Aligner
Front UI
Rear UI
(4) KINETIC SYSTEMS Vibraplane
Part number:
40077-01-0055
40076-03-0055
40076-02-0055
40077-01-0055
PC
Robot controller missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP는 높은 정확도와 고속 도량형 어플리케이션을 위해 설계된 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 샘플 분석 및 측정을위한 고성능 옵틱과 고품질 이미징이 있습니다. 빠르고 신뢰할 수있는 AutoFocus 유닛과 대형 웨이퍼에서 복잡한 장치 구조를 신속하게 분석하는 독특한 In-Sight 알고리즘을 갖추고 있습니다. KLA TP 630XP는 고효율 샘플 스캔을 위해 자동화된 단계를 사용하며, 3 가지 속도를 제공하여 도량형 (metrology) 및 특성화 (characterization) 응용 프로그램 모두에서 가장 빠른 속도와 정확성을 제공합니다. 최대 단계 크기가 2.5 um 인 TENCOR TP 630XP는 회로 기능을 서브 미크론 수준으로 측정 할 수 있습니다. FP 630XP는 또한 테스트 요구 사항에 따라 세 가지 조명 선택을 제공합니다. 여기에는 흰색 빛, 편광 된 빛 및 어두운 필드 조명이 포함됩니다. TP 630XP는 550 x 570 ~ 3,424 x 2,656 픽셀의 선택 가능한 해상도를 가진 고해상도 CCD 카메라를 갖추고 있습니다. 카메라의 이미지 처리 소프트웨어는 전체 웨이퍼의 데이터를 매우 정확하게 분석 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 샘플 준비 재료를 지원하여 테스트 전에 웨이퍼 라이닝 (wafer thinning), 힌지 (hinge) 프로브 (probing) 및 에칭 (etching) 을 허용합니다. THERMA-WAVE TP 630XP는 또한 고급 도량형 기능을 제공하여 결함 검토 및 분석을 수행할 수 있도록 높이, 기울기, 코너, 모서리 반지름, 기타 마이크로 기능을 정밀하게 측정 할 수 있습니다. 또한 고급 소프트웨어 패키지에는 자동 장치 인식, 웨이퍼 오버레이 (wafer overlay) 및 오버레이 (overlay) 측정, 중요 치수 측정용 이미지 처리 도구가 포함되어 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP는 웨이퍼 레벨 제작 및 리토-에치 프로세스 모니터링을위한 자동 도량형 인증을 받았습니다. 이 도구는 다양한 산업 표준 플라즈마 에치 (Plasma Etch) 및 강하 프로세스와 호환됩니다. KLA TP 630XP는 종합적인 기능을 통해 웨이퍼 수준 도량형 (wafer level metrology) 의 향상, 비용 절감, 생산 수익률 향상을 위해 설계되었습니다.
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