판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630 #293636352

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630은 KLA 및 TENCOR에서 제조 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 상태의 아트 시스템은 고급 멀티 센서 (multi-sensor) 기술과 지능형 생산 제어 기능의 독특한 조합을 제공합니다. 반도체 제작 및 연구 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. KLA TP 630은 CCD 검출기, 자동 기계 샘플 처리 기계, 지능형 소프트웨어 제품군을 갖춘 완전 자동화 장치입니다. 단일 센서 측정에서 고급 알고리즘을 사용한 정교한 다중 센서, 다차원 분석 (multi-densional analysis) 등 다양한 도량형 기능을 제공합니다. 또한 고유 한 멀티 사이트 샘플 처리 모듈 (multi-site sample-handling module) 과 정확한 동작 제어 (motion control) 를 통해 샘플 스테이지에서 기판 및 샘플을 정확하게 배치할 수 있습니다. TENCOR TP 630은 IEEE-1394 디지털 이미징 기술의 최신 발전과 고급 신호 획득, 처리 및 분석 기술을 사용합니다. 이 도구는 박막, 지형, 나노 구조 특성 등 반도체 재료의 다양한 전기 및 광학 특성을 측정 할 수 있습니다. 단순한 전기 및 광학 측정에서 복잡한 다차원 분석에 이르기까지 다양한 도량형 기능을 제공합니다. THERMA-WAVE TP 630의 다중 센서 자산은 표면, 두께, 저항성, 유전율 등 다양한 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 여러 샘플링 영역을 통해 샘플을 분석하여 복잡한 구조를 정확하게 분석 할 수 있습니다. 다양한 응용 프로그램에 적합한 다양한 Probe, Wafer Frame, Probe 카드로 구성할 수 있습니다. TP 630은 또한 고해상도 이미징 기능을 제공하여 반도체 재료의 상세한 2D 및 3D 이미지를 제공합니다. 이 장비는 재료의 다양한 기하학적 모양과 매개변수를 측정, 검사, 분석하는 데 적합합니다. 온도, 드라이 에치 프로세스 (dry etch process) 또는 전자 빔 리소그래피 (electron beam lithography) 와 같은 재료 역학의 프로세스 모니터링 및 특성화에 사용될 수 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630은 탁월한 성능과 정확성을 제공하며, 데이터 획득 및 분석 시스템과 통합하여 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이 시스템의 고급 설계 (Advanced Design) 와 기능은 엄격한 프로세스 조건에서도 정확한 결과를 보장합니다. 강력한 소프트웨어 제품군을 통해 엔지니어와 과학자들은 데이터를 빠르고, 정확하게 분석하고, 보다 자세한 의사 결정을 내릴 수 있습니다.