판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #9296615

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500은 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 물리적 특성 및 전기적 특성 모두에 대한 정확하고 안정적인 측정을 사용자에게 제공합니다. 이 시스템은 강력한 하드웨어와 소프트웨어 (software) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 기판에 걸쳐 재현 가능한 결과를 통해 복잡한 테스트를 구현할 수 있습니다. KLA TP 500은 최대 5 "직경의 패턴 웨이퍼에서 웨이퍼 모양과 OCD (optical critical dimensions) 를 모두 측정하도록 설계되었습니다. 또한 박막 두께를 측정하는 데 사용될 수 있으며, 저항성 (resistance) 및 농도 (tance) 와 같은 전기 매개변수도 사용할 수 있습니다. TENCOR TP-500에는 통합 패턴 인식 (pattern recogni... tion) 프로세서와 CCD 레이저 스캐너가 장착 된 대형 광학 해상도 현미경이 장착되어 있으며, 둘 다 다양한 유형의 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. 자동 포커스 모터 (automated focus motor) 를 사용하면 여러 레이어 구조를 정확하게 측정하기 위해 서로 다른 초점 길이 사이를 빠르게 이동할 수 있습니다. 또한, 통합 비전 단위를 사용하여 오버레이 측정을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고정밀 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 갖추고 있으며, 정확한 OCD 측정을 위해 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한, 스테이지에는 직물 덮인 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 가 늘어서 정전기로 인한 웨이퍼 손상을 줄입니다. 데이터 관리 측면에서 볼 때, 이 툴에는 강력한 데이터 처리 (data processing) 제품군이 장착되어 있어 측정 결과를 신속하게 분석하고 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 제품군은 원격 데이터 액세스를 위한 다양한 웹 기반 서비스와 효율적인 데이터 공유를 지원합니다. 또한 Wafer Pattern Library, Training Materials, Troubleshooting Guide 등이 포함된 포괄적인 지원 패키지도 제공됩니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500은 뛰어난 정확성과 신뢰성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 신뢰할 수 있고 효율적인 하드웨어와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 중요한 업계 표준을 준수하는 재현 가능한 결과를 통해 복잡한 테스트를 구현할 수 있습니다.