판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293823526

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500은 반도체 공정 개발 및 고장 분석에 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 높은 수준의 해상도와 정확도로 웨이퍼 (wafer) 또는 다이 (die) 에 대한 자동 상단면 및 횡단면 분석을 제공합니다. KLA TP 500은 온도학을 사용하여 파괴적인 접촉이나 광학 현미경 (optical microscopy) 없이 웨이퍼 표면의 전기 특성을 측정합니다. 이 프로세스는 작은 크기 피쳐 내의 손상과 결함을 식별하는 데 도움이 됩니다. 이 장치는 또한 비접촉 센서를 사용하여 다이 (die) 및 웨이퍼 (wafer) 레벨 평탄도 측정을 수행 할 수 있으며, 이는 최대 0.3 nm의 지형의 변형을 감지 할 수 있습니다. 다이 분석을 위해, TENCOR TP-500은 수동 및 자동 다이 주소 전환을 모두 갖춘 자동 다이 위치 (die-location) 기능을 제공하여 한 위치에서 다음 위치로 쉽게 이동할 수 있습니다. 이 기계는 45x45mm 또는 90x90mm의 XY 단계를 통합하여 웨이퍼 분석을위한 포괄적 인 매핑을 제공합니다. 또한 고해상도 이미징 (고해상도 이미징), 최대 0.5 ½ m 깊이, 디지털 이미지 캡처, 자동 다이 선택, 각인 검출기 기술 등이 있습니다. 이미지 분석 도구에는 고급 입자 계산, 임계 치수 측정 및 전기 서명 분석이 포함됩니다. TP 500은 결합 요약, 장애 메커니즘 분석, 통과/실패, 지형 보고서 등 다양한 형식으로 다양한 도량형 보고서를 생성할 수 있습니다. 에셋은 또한 임계값, 평면도, 연결성, 다이 투 다이 반복성과 같은 중요한 매개변수의 체크 매핑을 가능하게 합니다. 또한, 이 모델은 직관적이고, 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하며, 원격 장비 진단 및 수리를 지원합니다. RoHS 규정을 준수하도록 설계되었으며, 시간당 최대 120 웨이퍼의 처리율로 고속 샘플링을 제공합니다. THERMA-WAVE TP-500은 까다로운 반도체 프로세스를 위해 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다.