판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293699103

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 및 집적 회로에 대한 전기 및 광학 테스트를 수행하도록 설계되었습니다. wafer probing, on-wafer parametric testing, sorting 및 programming을 포함한 wafer 테스트 서비스를위한 통합 플랫폼을 제공합니다. 또한 웨이퍼 모양, 평평함, 모서리 프로파일 등 웨이퍼 치수 측정을위한 고급 도량형 기능을 제공합니다. KLA TP 500에는 Vt, Ioff, 유전체 고장, 평평, 중단 점, 웨이퍼 매개 변수 분포 및 누출 전류를 포함한 다양한 파라 메트릭 데이터를 측정 할 수있는 고속 웨이퍼 프로버 시스템이 있습니다. 또한 비사양 기판 모니터링을 수행 할 수 있습니다. TENCOR TP-500은 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 5 개의 선택 가능한 프로버 헤드가 있습니다. 최대 테스트 속도는 40MHz입니다. 이 Prober에는 내부 데이터 인터페이스 (Internal Data Interface) 가 있어 호스트 컴퓨터로 빠르고 쉽게 데이터를 전송할 수 있습니다. TP 500의 도량형 기능에는 웨이퍼 모양, 평평함 및 모서리 프로파일 측정이 포함됩니다. 웨이퍼 모양을 측정하기 위해 레이저 간섭계와 폐쇄 루프 디지털 현미경 장치를 사용합니다. 또한 평평, 모서리 프로파일, 스핀 균일성 및 기타 유형의 치수 측정에 대한 KLA Interferometry Metrologer (TIM) 를 사용합니다. THERMA-WAVE TP-500은 또한 2 차 계측 용 웨이퍼를 템플릿 할 수있는 환경 분석기를 제공합니다. 다이 사이즈를 읽고, 다이를 분류하고, 자극과 매개변수를 측정하고, 결함을위한 화면을 읽습니다. THERMA-WAVE TP 500은 신뢰성과 정확성에 대한 완벽한 기록을 가지고 있습니다. 온보드 데이터 시스템은 시스템 성능을 모니터링하고, 장애가 감지되면 운영자에게 경고합니다. 또한 자체 진단 도구 (self-diagnostic tool) 가 내장되어 있어 모든 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 다양한 반도체 웨이퍼 및 집적 회로를 테스트하기 위해 안정적이고 정확한 플랫폼을 제공합니다. 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능과 더불어 고속 프로버 (High Speed Prober) 를 제공하여 기판 매개변수를 자세히 테스트하고 추적할 수 있습니다.